Измерение подвижности носителей заряда в арсениде галлия с помощью ближнеполевого сверхвысокочастотного микроскопа методом сверхвысокочастотного магнитосопротивления
Усанов Д.А.1, Постельга А.Э.1, Калямин А.А.1, Шаров И.В.1
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Email: alexey-gtp@mail.ru
Поступила в редакцию: 16 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1969 г.
Показана возможность бесконтактного неразрушающего локального измерения сверхвысокочастотной подвижности носителей заряда в арсениде галлия при помощи ближнеполевого сканирующего сверхвысокочастотного микроскопа с использованием эффекта сверхвысокочастотного магнитосопротивления. Отмечается необходимость учета при обработке результатов измерений влияния эффекта смещения сверхвысокочастотного поля.
- W. Chaisantikulwat, M. Mouis, G. Ghibaudo, C. Gallon, C. Fenouillet-Beranger, D.K. Maude, T. Skotnicki, S. Cristoloveanu. Solid-State Electron., 50 (4), 637 (2006)
- B. Molnar, T.A. Kenedy. J. Electrochem. Soc. Solid-State Sci. Technol., 125 (8), 1318 (1978)
- В.С. Банников, Ю.Г. Качуровский, И.В. Петренко. Электронная промышленность, 9, 48 (1982)
- С.М. Безручко, В.Н. Подшивалов, А.И. Фисун. Электронная промышленность, 3, 66 (1986)
- D. Usanov, A. Skripal, A. Abramov, A. Bogolubov, V. Skvortsov, M. Merdanov. Proc. 37rd Eur. Microwave Conf. (Munich, Germany, 2010) p. 198
- D. Usanov, A. Skripal, D. Ponomarev, E. Latysheva, S. Nikitov. Proc. 20th Int. Conf. on Microwaves, Radar, and Wireless Communications MIKON-2014 (Gdansk, Poland, 2014) v. 1, p. 62
- Д.А. Усанов. Ближнеполевая сканирующая СВЧ-микроскопия и области ее применения (Саратов, Изд-во Сарат. ун-та, 2010) с. 100
- P. Gregory, J.F. Blackburn, K. Lees, R.N. Clarke, T.E. Hodgetts, S.M. Hanham, N. Klein. Ultramicroscopy, 161, 137 (2016)
- Д.А. Усанов, С.С. Горбатов. Приборы и техника эксперимента, 2, 100 (2006)
- M. Levinshtein, S. Rumyantsev, M. Shur. Handbook Series on Semiconductor Parameters (Singapore--New Jersey--London--Hong Kong, World Scientific Publishing Co. Pte. Ltd, 1996) v. 1, p. 84
- L.G. Parratt. Phys. Rev., 95, 359 (1954)
- H.E.M. Barlow, R. Koike. Proc. IEEE, 110 (12), 2177 (1963)
- Л.Н. Баранов, В.Б. Гаманюк, Д.А. Усанов. РЭ, 18 (11), 73 (1973)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
