"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Моделирование туннельного переноса электронов в системе полупроводник-кристаллический диэлектрик-Si(111)
Переводная версия: 10.1134/S1063782618080249
Векслер М.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: vexler@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 декабря 2017 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2018 г.

Теоретически исследован туннельный транспорт носителей через тонкий слой диэлектрика (для примера рассмотрен CaF2) между кремниевой подложкой ориентации (111) и полупроводниковым затвором. Наряду с сохранением большого по величине поперечного волнового вектора туннелирующих частиц учтено ограничение на наличие состояний в затворе. Из-за этого ограничения туннельные токи при малых напряжениях на диэлектрике оказываются меньше, чем в аналогичной структуре с металлическим затворным электродом. Эта же особенность обусловливает изменение вида энергетического распределения туннелирующих электронов, причем как при транспорте между зонами проводимости подложки и затвора, так и при переносе зона проводимости Si(111) - валентная зона затвора.
  1. A. Schenk. Advanced physical models for Silicon device simulations (Springer, Wien, NY., 1998) Chap. 5
  2. М.И. Векслер, С.Э. Тягинов, Ю.Ю. Илларионов, Yew Kwang Sing, Ang Diing Shenp, В.В. Федоров, Д.В. Исаков. ФТП, 47 (5), 675 (2013)
  3. J. Robertson, R.W. Wallace. Mater. Sci. Eng. R, 88, 1 (2015)
  4. Y.Y. Illarionov, M.I. Vexler, S.M. Suturin, V.V. Fedorov, N.S. Sokolov, K. Tsutsui, K. Takahashi. Microelectron Eng., 88 (7), 1291 (2011)
  5. Yu.Yu. Illarionov, M.I. Vexler, M. Karner, S.E. Tyaginov, J. Cervenka, T. Grasser. Current Appl. Phys., 15 (2), 78 (2015)
  6. Crystals with the fluorite structure, ed. by W. Hayes (Clarendon Press, Oxford, 1974)
  7. L.F. Register, E. Rosenbaum, K. Yang. Appl. Phys. Lett., 74 (3), 457 (1999)
  8. И.Н. Бронштейн, К.А. Семендяев. Справочник по математике для инженеров и учащихся втузов (М., Наука, 1980) с. 380 [понятие "якобиан"]

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.