Моделирование туннельного переноса электронов в системе полупроводник-кристаллический диэлектрик-Si(111)
Векслер М.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: vexler@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 декабря 2017 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2018 г.
Теоретически исследован туннельный транспорт носителей через тонкий слой диэлектрика (для примера рассмотрен CaF2) между кремниевой подложкой ориентации (111) и полупроводниковым затвором. Наряду с сохранением большого по величине поперечного волнового вектора туннелирующих частиц учтено ограничение на наличие состояний в затворе. Из-за этого ограничения туннельные токи при малых напряжениях на диэлектрике оказываются меньше, чем в аналогичной структуре с металлическим затворным электродом. Эта же особенность обусловливает изменение вида энергетического распределения туннелирующих электронов, причем как при транспорте между зонами проводимости подложки и затвора, так и при переносе зона проводимости Si(111) - валентная зона затвора.
- A. Schenk. Advanced physical models for Silicon device simulations (Springer, Wien, NY., 1998) Chap. 5
- М.И. Векслер, С.Э. Тягинов, Ю.Ю. Илларионов, Yew Kwang Sing, Ang Diing Shenp, В.В. Федоров, Д.В. Исаков. ФТП, 47 (5), 675 (2013)
- J. Robertson, R.W. Wallace. Mater. Sci. Eng. R, 88, 1 (2015)
- Y.Y. Illarionov, M.I. Vexler, S.M. Suturin, V.V. Fedorov, N.S. Sokolov, K. Tsutsui, K. Takahashi. Microelectron Eng., 88 (7), 1291 (2011)
- Yu.Yu. Illarionov, M.I. Vexler, M. Karner, S.E. Tyaginov, J. Cervenka, T. Grasser. Current Appl. Phys., 15 (2), 78 (2015)
- Crystals with the fluorite structure, ed. by W. Hayes (Clarendon Press, Oxford, 1974)
- L.F. Register, E. Rosenbaum, K. Yang. Appl. Phys. Lett., 74 (3), 457 (1999)
- И.Н. Бронштейн, К.А. Семендяев. Справочник по математике для инженеров и учащихся втузов (М., Наука, 1980) с. 380 [понятие "якобиан"]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.