"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Структура и свойства полученных методом магнетронного распыления тонких графитоподобных пленок
Переводная версия: 10.1134/S1063782618070266
Виноградов А.Я.1, Грудинкин С.А.1, Беседина Н.А.2, Коняхин С.В.1,2, Рабчинский М.К.1, Эйдельман Е.Д.1,3, Голубев В.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургская государственная химико-фармацевтическая академия, Санкт-Петербург, Россия
Email: grudink.gvg@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 30 ноября 2017 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2018 г.

Исследованы структурные, электрические и оптические свойства тонких графитоподобных пленок, полученных на кристаллическом кремнии и кварце методом магнетронного распыления при температурах подложки в диапазоне от 320 до 620oC. Из анализа спектров комбинационного рассеяния света установлено, что с ростом температуры подложки происходит увеличение характерного размера кристаллитов, уменьшение концентрации структурных дефектов и содержания аморфного углерода в фазовом составе пленок. С увеличением температуры подложки в спектрах оптического поглощения в ультрафиолетовой области спектра наблюдался сдвиг максимума интенсивности поглощения в область больших длин волн и возрастание поглощения в видимой и ближней ИК-областях спектра. С ростом температуры осаждения удельная электропроводность пленок увеличивалась с 0.2 Ом-1· см-1 при 320oC до 30 Ом-1· см-1 при 620oC.
  1. Е.Д. Эйдельман, Ф.М. Шахов, А.Я. Вуль. Патент РФ на изобретение N 2628676. Заявка N 2016146445. Приоритет изобретения 25.11.2016. Дата государственной регистрации в Государственном реестре изобретений Российской Федерации 21.08.2017
  2. E.D. Eidelman, A.Ya Vul'. J. Phys.: Condens. Matter, 19 (26), 266210 (2007)
  3. А.П. Мейлахс, Е.Д. Эйдельман. Письма ЖЭТФ, 100 (2), 89 (2014)
  4. Е.Д. Эйдельман. ФТП, 51 (7), 944 (2017)
  5. A.N. Obraztsov, A.V. Tyurnina, E.A. Obraztsova, A.A. Zolotukhin, B. Liu, K.C. Chin, A.T.S. Wee. Carbon, 46 (6), 963 (2008)
  6. Y. Miyasaka, A. Nakamura, J. Temmyo. Jpn. J. Appl. Phys., 50, 04DH12 (2011)
  7. J.J. Gracio, Q.H. Fan, J.C. Madaleno. J. Phys. D: Appl. Phys., 43 (37), 374017 (2010)
  8. М.В. Байдакова, А.Я. Вуль, В.Г. Голубев, С.А. Грудинкин, В.Г. Мелехин, Н.А. Феоктистов, А. Крюгер. ФТП, 36 (6), 651 (2002)
  9. S.A. Grudinkin, N.A. Feoktistov, A.V. Medvedev, K.V. Bogdanov, A.V. Baranov, A.Y. Vul, V.G. Golubev. J. Phys. D Appl. Phys., 45 (6), 062001 (2012)
  10. С.А. Грудинкин, Н.А. Феоктистов, К.В. Богданов, М.А. Баранов, А.В. Баранов, А.В. Федоров, В.Г. Голубев. ФТП, 48 (2), 283 (2014)
  11. A. Sadezky, H. Muckenhuber, H. Grothe, R. Niessner, U. Poschl. Carbon, 43 (8), 1731 (2005)
  12. A. Merlen, J.G. Buijnsters, C. Pardanaud. Coatings, 7 (10), 153 (2017)
  13. A.C. Ferrari, D.M. Basko. Nature Nanotech., 8 (4), 235 (2013)
  14. S. Reich, C. Thomsen. Phil. Trans. Royal Soc. (London. A), 362, 2271 (2004)
  15. L.M. Malard, M.A.A. Pimenta, G. Dresselhaus, M.S. Dresselhaus. Phys. Reports, 473 (5), 51 (2009)
  16. A. Bianco, H.M. Cheng, T. Enoki, Y. Gogotsi, R.H. Hurt, N. Koratkar, T. Kyotani, M. Monthioux, C.R. Park, J.M.D. Tascon, J. Zhang. Carbon, 65, 1 (2013)
  17. T. Jawhari, A. Roid, J. Casado. Carbon, 33 (11), 1561 (1995)
  18. M. Couzi, J.-L. Bruneel, D. Talaga, L. Bokobza. Carbon, 107, 388 (2016)
  19. A.C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B, 61 (20), 14095 (2000)
  20. A.C. Ferrari. Solid State Commun., 143 (1), 47 (2007)
  21. O.A. Maslova, M.R. Ammar, G. Guimbretiere, J.-N. Rouzaud, P. Simon. Phys. Rev. B, 86 (13), 134205 (2012)
  22. F. Tuinstra, J.L. Koenig. J. Compos. Mater., 4 (4), 492 (1970)
  23. L.G. Can cado, K. Takai, T. Enoki, M. Endo, Y.A. Kim, H. Mizusaki, A. Jorio, L.N. Coelho, R. Magalhaes-Paniago, M.A. Pimenta. Appl. Phys. Lett., 88 (16), 163106 (2006)
  24. R. Beams, L.G. Cancado, L. Novotny. J. Phys.: Condens. Matter, 27 (8), 083002 (2015)
  25. R.A. DiLeo, B.J. Landi, R.P. Raffaelle. J. Appl. Phys., 101 (6), 064307 (2007)
  26. S. Santangelo, G. Messina, G. Faggio, M. Lanza, C. Milone. J. Raman Spectrosc., 42 (4), 593 (2011)
  27. L.G. Cancado, K. Takai, T. Enoki, M. Endo, Y.A. Kim, H. Mizusaki, N.L. Speziali, A. Jorio, M.A. Pimenta. Carbon, 46 (2), 272 (2008)
  28. A.L. Stroyuk, N.S. Andryushina, N.D. Shcherban', V.G. Il'in, V.S. Efanov, I.B. Yanchuk, S.Ya. Kuchmii, V.D. Pokhodenko. Theor. Experiment. Chem., 48 (1), 2 (2012)
  29. J. Robertson. Phys. Rev. B, 35 (6), 2946 (1987)
  30. В.И. Иванов-Омский, А.В. Толмачев, С.Г. Ястребов. ФТП, 35 (2), 227 (2001)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.