Вышедшие номера
Использование атомной структуры кристаллов кремния для получения многоострийных полевых источников электронов
Переводная версия: 10.1134/S1063782618020239
Яфаров Р.К.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Email: pirpc@yandex.ru
Поступила в редакцию: 3 марта 2017 г.
Выставление онлайн: 20 января 2018 г.

Исследованы автоэмиссионные характеристики полевых источников электронов, полученных с использованием атомной структуры кристаллов кремния, процессов гетерофазной вакуумно-плазменной самоорганизации островковых углеродных покрытий и высокоанизотропного плазмохимического травления в условиях слабой адсорбции. Установлена взаимосвязь морфологических и автоэмиссионных характеристик автокатодных микроструктур на кристаллах кремния различных типов проводимости. Результаты экспериментальных исследований интерпретированы с использованием представлений Фаулера-Нордгейма во взаимосвязи с изменениями составов поверхностных фаз в процессах получения эмиттируюших кремниевых выступов. DOI: 10.21883/FTP.2018.02.45435.8571