"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Тонкие пленки CeB6, полученные методом электронно-лучевого напыления на различных подложках
Кузанян А.А.1, Кузанян А.С.1, Бадалян Г.Р.1, Петросян С.И.1, Варданян В.О.1, Гурин В.Н.2, Волков М.П.2, Пилосян С.Х.3
1Институт физических исследований Национальной академии наук Армении, Аштарак, Армения
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
Email: astghik.kuzanyan@gmail.com
Поступила в редакцию: 31 января 2017 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2017 г.

Методом электронно-лучевого напыления получены пленки гексаборида церия --- материала, перспективного для использования в термоэлектрических устройствах при гелиевых температурах. Напыление проводили с керамических мишеней на диэлектрические, полупроводниковые и металлические подложки при различных температурах. Подробно исследованы микроструктура, элементный и фазовый составы, температурные зависимости удельного сопротивления и коэффициента Зеебека. Получены пленки со структурой CaB6, характерной для гексаборида церия, и элементным составом, близким к стехиометрическому. При низких температурах пленки имеют удельное сопротивление несколько больше, а коэффициент Зеебека близок к значениям для монокристаллических образцов. Основной причиной различия величин удельного сопротивления является обнаруженная в пленках большая концентрация примеси кислорода. DOI: 10.21883/FTP.2017.08.44783.52
  • G.G. Fritz, K.S. Wood, D. Van Vechten, A.L. Gyulamiryan, A.S. Kuzanyan, N.J. Giordano, T.M. Jacobs, H.-D. Wu, J.S. Horwits, A.M. Gulian. Proc. SPIE, 4140, 459 (2000)
  • В.А. Петросян. Изв. НАН Армении. Физика, 46, 194 (2011)
  • S. Harutyunyan, V. Vardanyan, A. Kuzanyan, V. Nikoghosyan, S. Kunii, A. Gulian. Appl. Phys. Lett., 83 (11), 2142 (2003)
  • A. Kuzanian, V. Nikoghosyan, A. Kuzanyan. Sensors \& Transducers, 191 (8), 57 (2015)
  • J.Q. Xu, T. Mori, Y. Bando, D. Golberg, D. Berthebaud, A. Prytuliak. Mater. Sci. Engin. B, 177, 117 (2012)
  • D. Hatanaka, E. Asanuma, K. Takeda, T. Ikeda, M. Nakamura, Y. Nakanishi, F. Iga, Y. Harada, H. Yamaguchi, M. Yoshizawa. Proc. Int. Conf. Strongly Correlated Electron Systems (SCES2013), JPS Conf. Proc., 011049 (2014)
  • H. Shishido, K. Kawai, A. Futagami, S. Noguchi, T. Ishida JPS Conf. Proc, 011045 (2014)
  • К.М. Макеев, В.Н. Гурин, Л.И. Деркаченко, М.П. Волков, А.С. Кузанян, А.А. Кузанян, Т.Б. Попова, Е.В. Иванова. Письма ЖТФ, 42 (1), 3 (2016).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.