"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Измерение толщины блочных пленок висмута методом атомно-силовой микроскопии с применением избирательного химического травления
Демидов Е.В. 1, Комаров В.А. 1, Крушельницкий А.Н. 1, Суслов А.В. 1
1Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
Email: demidov_evg@mail.ru, va-komar@yandex.ru, ak.spb.ru@gmail.com, a.v_suslov@mail.ru
Поступила в редакцию: 27 декабря 2016 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2017 г.

С использованием атомно-силовой микроскопии и избирательного химического травления предложен способ измерения толщины блочных пленок. Предложенный способ апробирован для тонких пленок висмута на слюде, полученных методом термического испарения в вакууме. DOI: 10.21883/FTP.2017.07.44631.17
  1. S. Tang, M.S. Dresselhaus. J. Mater. Chem. C, 24, 4710 (2014)
  2. D. Hsieh, D. Qian, L. Wray, Y. Xia, Y.S. Hor, R.J. Cava, M.Z. Hasan. Nature, 452, 970 (2008)
  3. M.Z. Hasan, C.L. Kane. Rev. Mod. Phys., 82, 3045 (2010)
  4. P. Wei, J. Yang, L. Guo, S. Wang, L. Wu, X. Xu, W. Zhao, Q. Zhang, W. Zhang, M.S. Dresselhaus, J. Yang. Adv. Functional Mater., 26 (29), 5360 (2016)
  5. E.I. Rogacheva, S.G. Lyubchenko, O.N. Nashchekina, A.V. Meriuts, M.S. Dresselhaus. Microelectronics J., 40, 728 (2009)
  6. Y.M. Lin, S.B. Cronin, J.Y. Ying, M.S. Dresselhaus, J.P. Heremans. Appl. Phys. Lett., 76, 3944 (2000)
  7. Y.M. Lin, O. Rabin, S.B. Cronin, J.Y. Ying, M.S. Dresselhaus. Appl. Phys. Lett., 81, 2403 (2002)
  8. В.М. Грабов, Е.В. Демидов, В.А. Комаров. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2011 (2), 81 (2011)
  9. В.М. Грабов, В.А. Комаров, Н.С. Каблукова. ФТТ, 58, 605 (2016)
  10. С.Ю. Купреенко, Н.А. Орликовский, Э.И. Рау, А.М. Тагаченков, А.А. Татаринцев. ЖТФ, 85 (10), 101 (2015)
  11. Ю.П. Пшеничнов. Выявление тонкой структуры кристаллов. Справочник (М., Металлургия, 1974) с. 126
  12. В.М. Грабов, Е.В. Демидов, В.А. Комаров. ФТТ, 50, 1312 (2008)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.