"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние температуры осаждения на структуру и оптические свойства пленок селенида цинка, полученных ВЧ магнетронным распылением
Кобзиев В.Ф.1, Закирова P.М.1, Костенков Н.В.1, Крылов П.Н.1, Федотова И.В.1
1Удмуртский государственный университет, Ижевск, Россия
Email: ftt@udsu.ru
Поступила в редакцию: 22 ноября 2016 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.

Исследовано влияние температуры конденсации на скорость роста, структуру и оптические свойства полученных ВЧ магнетронным распылением пленок селенида цинка. С увеличением температуры осаждения толщина пленок уменьшается. Поликристаллические пленки селенида цинка состоят из смеси кубической и гексагональной фаз с преобладанием кубической фазы. Показана корреляция величины показателя преломления и размеров кристаллитов. DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44567.8455
  1. E.M. Софронова, Д.С. Софронов, В.В. Стариков, Д.И. Курбатов, А.С. Опанасюк, П.В. Матейченко. Журн. наноэлектронной физики, 4 (4), 04016 (5cc) (2012)
  2. M. Aveu, J.S. Prener. Physics and Chemistry of II-VI Compounds (Amsterdam, North-Holland Publ. Co., 1967) p. 278
  3. Физика соединений AIIBVI, под ред. А.Н. Георгобиани, М.К. Шейнкмана (М., Наука, 1986) с. 368
  4. С.П. Апанасевич, О.В. Гончарова, Ф.В. Карпушко, Г.В. Синицин. ЖПС, 47, 200 (1987)
  5. А.В. Хомченко. ЖТФ, 67 (9), 60 (1997)
  6. Р.Р. Сайфутяров, А.В. Хомяков, Е.Н. Можевитина, И.Х. Аветисов. Успехи в химии и хим. технологии, XXVIII (6), 28 (2014)
  7. А.Н. Брызгалов, В.В. Мусатов, В.В. Бузько. ФТП, 38 (3), 322 (2004)
  8. Е.Г. Гончаров, Г.В. Семенов, Я.А. Угай. Химия полупроводников (Воронеж, ВГУ, 1995) с. 270
  9. В.П. Зломанов, А.В. Новоселова. P-T-X-диаграммы состояния систем металл--халькоген (М., Наука, 1987) с. 207
  10. И.В. Седова. Автореф. канд. дис. (СПб., РАН ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2006)
  11. Ю.К. Ежовский, О.В. Денисова. Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов: Учеб. пособие (СПб., СЗТУ, 2005) с. 80
  12. А.А. Дунаев, Е.А. Гарибин, П.Е. Гусев, А.А. Демиденко, И.Л. Егорова, М.А. Крутов, И.А. Миронов, А.Н. Чиванов. Междунар. конф. Прикладная оптика" (Санкт-Петербург, 2012) ч. 2, с. 212
  13. Н.Н. Мельник, В.С. Виноградов, И.В. Кучеренко, Г. Карчевски, О.С. Пляшечник. ФТТ, 51 (4), 787 (2009)
  14. Физика и химия соединений AIIBVI, под ред. С.А. Медведева (М., Мир, 1970) с. 624
  15. В.В. Куколь, Е.Е. Лакин, В.Д. Путятин. Монокристаллы и техника (Харьков, ВНИИ Монокристалл, 1975) вып. 12, с. 14
  16. S.K. Lok, G. Wang, Y. Cai, N. Wang, Y.C. Zhong, K.S. Wong, I.K. Sou. J. Cryst. Growth, 311 (9), 2630 (2009)
  17. C.-W. Huang, H.-M. Weng, Y.-L. Jiang, H.-Y. Ueng. Thin Sol. Films, 517, 3667 (2009)
  18. Zhengbang Pi, Xiaolu Su, Chao Yang, Xike Tian, Fang Pei, Suxin Zhang, Jianhua Zheng. Mater. Res. Bulletin, 43, 1966 (2008)
  19. Chongfeng Guo, C.H. Choy, Dexiu Huang, Yueping Fang. J. Phys. Chem. Sol., 67 (4), 818 (2006)
  20. С.С. Алалыкин, Р.М. Закирова, В.Ф. Кобзиев, П.Н. Крылов, И.В. Федотова. Хим. физика и мезоскопия, 17 (3), 360 (2015)
  21. В.В. Брус, М.Н. Солован, Э.В. Майструк, И.П. Козярский, П.Д. Марьянчук, К.С. Ульяницкий, J. Rappich. ФТТ, 56 (10), 1886 (2014)
  22. C.С. Алалыкин, П.Н. Крылов. ПТЭ, 2, 149 (2005)
  23. Я.С. Уманский, Ю.А. Скаков, А.Н. Иванов, Л.Н. Расторгуев. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия (М., Металлургия, 1982) c. 632
  24. С.С. Горелик, Л.Н. Расторгуев, Ю.А. Скаков. Ренгенографический и электронографический анализ (М., Металлургия, 2002)
  25. И.Г. Неизвестный, С.П. Супрун, В.Н. Шумский. Автометрия, 4, 34 (1994)
  26. В.К. Вайнштейн. Структурная электронография (М., Изд-во АН СССР, 1956) с. 341
  27. Е.Н. Котликов, Ю.А. Кузнецов, Н.П. Лавровская, А.Н. Тропин. Науч. приборостроение, 18 (3), 32 (2008)
  28. Термодинамика оксидов, под ред. И.С. Куликов: Cправ. изд. (М., Металлургия, 1986) с. 344
  29. Чан Конг Кхань. Автореф. канд. дис. (М., Российский хим.-технол. ун-т им. Д.И. Менделеева, 2016)
  30. S. Venkatachalam, Y.L. Jeyachandran, P. Sureshkumar, A. Dhayalraj, D. Mangalaraj, Sa.K. Narayandass, S. Velumani. Mater. Characterization, 58, 794 (2007)
  31. Л.К. Водопьянов, Н.Н. Мельник, Ю.Г. Садофьев. ФТП, 33 (3), 282 (1999)
  32. D. Nesheva, M.J. vScepanovic, S. Avskrabic, Z. Levi, I. Bineva, Z.V. Popovic. Acta Phys. Polon. A, 116 (1), 75 (2008).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.