"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Изучение профиля распределения железа, имплантированного в кремний
Кожемяко А.В.1, Балакшин Ю.В.2, Шемухин А.А.2, Черныш В.С.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: anastasiia.kozhemyako@mail.ru
Поступила в редакцию: 23 ноября 2016 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.

Проведена имплантация ионов железа с энергиями 90, 250 кэВ и дозой облучения 1016 см-2 в монокристалл кремния с ориентацией (110). Методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием изучены профили распределения внедренной примеси, а также профили распределения радиационных дефектов в кристаллической решетке. Экспериментальные результаты сравниваются с результатами моделирования в программе TRIM. Показано, что при энергии 4.6 кэВ/нуклон средние проективные пробеги совпадают, однако при энергии 1.6 кэВ/нуклон различие составляет 35%. Кроме того показано, что расчет некорректно учитывает дозовую зависимость при энергиях 1.6-4.6 кэВ/нуклон. DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44556.8460
  1. Y. Zhang, H. Huang, D. Bi, M. Tang, Z. Zhang. Nucl. Instr. Meth. B, 319, 141 (2014)
  2. B. Zheng, N. Iketa, Y. Takeda, K. Sato, R. Sato, H. Amekura, K. Oyoshi, M. Song, D. Ila, N. Kishimoto. Nucl. Instr. Meth. B, 272, 183 (2010)
  3. А.А. Шемухин, А.В. Назаров, Ю.В. Балакшин, В.С. Черныш. Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед., N 3, 56 (2014)
  4. A.A. Shemukhin, A.V. Nazarov, Yu.V. Balakshin, V.S. Chernysh. Nucl. Instr. Meth. B, 354, 274 (2015)
  5. B.E. Kane. Nature, 393, 133 (1998)
  6. J.J. Pla, K.Y. Tan, J.P. Dehollain, W.H. Lim, J.J. Morton, D.N. Jamieson, A.S. Dzurak, A. Morello. Nature, 489, 541 (2012)
  7. M. Fuechsle, J.A. Miwa, S. Mahapatra, H. Ryu, S. Lee, O. Warschkow, L.C. Hollenberg, G. Klimeck, M.Y. Simmons. Nat. Nanotechnol., 7, 242 (2012)
  8. M. Veldhorst, C.H. Yang, J.C.C. Hwang, W. Huang, J.P. Dehollain, J.T. Muhonen, S. Simmons, A. Laucht, F.E. Hudson, K.M. Itoh, A. Morello, A.S. Dzurak et al. Nature, 526, 410 (2015)
  9. G. Yamahata, K. Nishiguchi, A. Fujiwara. Nat. Commun., 5, 1 (2014)
  10. G.C. Tettamanzi, R. Wacquez, S. Rogge. New J. Phys., 16, 63036 (2014)
  11. D.E. Presnov, V.V. Shorokhov, S.V. Amitonov, A.S. Trifonov, V.A. Krupenin. The 8th General Meeting of ACCMS-VO (Tohoku University, Japan, 2013) PS-3
  12. P.L. Grande, F.C. Zawislak, D. Fink, M. Behar. Nucl. Instr. Meth. B, 61, 282 (1991)
  13. P.L. Grande, P.F.P. Fichtner, M. Behar, F.C. Zawislak. Nucl. Instr. Meth. B, 35, 17 (1988)
  14. A. Naas, E. Ntsoenzok, D. De Sousa-Meneses, B. Hakim, A. Beya-Wakata. Nucl. Instr. Meth. B, 339, 46 (2014)
  15. W.J. Lakshantha, V.C. Kummari, T. Reinert, F.D. McDaniel, B. Rout. Nucl. Instr. Meth. B, 332, 33 (2014)
  16. J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instr. Meth. B, 268, 1818 (2010)
  17. J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Matter (Pergamon, N.Y., 1985)
  18. A. Fohl, R.M. Emrick, H.D. Carstanjen. Nucl. Instr. Meth. B, 65, 335 (1992)
  19. T. Chunyu, X. Yueyuan, Y. Hong, S. Xiufang. Nucl. Instr. Meth. B, 42, 1 (1989)
  20. Д.С. Королев, А.Н. Михайлов, А.И. Белов, В.К. Васильев, Д.В. Гусейнов, Е.В. Окулич, А.А. Шемухин, А.В. Пирогов, Д.А. Павлов, Д.И. Тетельбаум, С.И. Суродин, Д.Е. Николичев, А.В. Нежданов. ФТП, 50, 274 (2016)
  21. L. Himics, S. Toth, M. Veres, A. Toth, M. Koos. Appl. Surf. Sci., 328, 577 (2015)
  22. W.J. Lakshantha, M.S. Dhoubhadel, T. Reinert, F.D. McDaniel, B. Rout. Nucl. Instr. Meth. B, 365, 114 (2015)
  23. M. Ishimary. Nucl. Instr. Meth. B, 258, 490 (2007)
  24. А.А. Шемухин, П.Н. Черных, В.С. Черныш, Ю.В. Балакшин, А.В. Назаров. Прикладная физика, N 5, 59 (2013)
  25. А.А. Шемухин, Ю.В. Балакшин, П.Н. Черных, В.С. Черныш. Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед., N 4, 25 (2013)
  26. M. Nastasi, J.W. Mayer, Y. Wang. Ion beam analysis, fundamentals and applications (Boca Raton, FL, CRC Press, 2015).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.