Поверхностное наноструктурирование в системе углерод--кремний (100) при микроволновой плазменной обработке
Российский научный фонд, 16-19-10033
Яфаров Р.К.
1, Шаныгин В.Я.
11Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Email: pirpc@yandex.ru, vitairerun@mail.ru
Поступила в редакцию: 14 февраля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2017 г.
Рассмотрены физико-химические процессы и механизмы влияния плазменной подготовки поверхности на закономерности конденсации и поверхностные фазовые превращения при формировании масковых кремний-углеродных доменов на кристаллах кремния (100) p-типа при осаждении субмонослойных углеродных покрытий в СВЧ-плазме паров этанола низкого давления. Показано, что при кратковременных длительностях осаждения углерода на кремниевые пластины с естественным оксидным покрытием при температуре 100oC наблюдается формирование доменов с латеральными размерами от 10-15 до 200 нм, а высоты выступов, полученных плазмохимическим травлением кремния через доменные масковые покрытия, изменяются в интервале от 40 до 80 нм. DOI: 10.21883/FTP.2017.04.44352.8207
- В.Я. Шаныгин, Р.К. Яфаров. ПЖТФ, 40 (7), 8 (2014)
- Р.К. Яфаров. ФТП, 49 (3), 329 (2015)
- Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов, В.А. Щукин, П.С. Копьев, Ж.И. Алфёров, Д. Бимберг. ФТП, 32 (4), 385 (1998)
- И.П. Суздалев. Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов. (М., КомКнига, 2006)
- Р.К. Яфаров. ФТП, 48 (4), 529 (2014)
- Р.К. Яфаров. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий (М., Физматлит, 2009)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
