Вышедшие номера
Связь структурно-фазовых изменений в пленках оксида титана с электрическими и фотоэлектрическими характеристиками структур TiO2-Si
Министерство образования и науки Российской Федерации, Государственное задание, 3.1206.2014/К от 17.07.14
Калыгина В.М.1, Егорова И.М.1, Новиков В.А.1, Прудаев И.А. 1, Толбанов О.П. 1
1Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Email: Kalygina@ngs.ru, funcelab@gmail.com, top@mail.tsu.ru
Поступила в редакцию: 16 февраля 2016 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2016 г.

Исследовано влияние термического отжига в аргоне и воздействие кислородной плазмы на вольт-амперные характеристики и фотоотклик структур TiO2-Si. Пленки оксида титана получали ВЧ магнетронным напылением на подложках n-Si. Наблюдаемые особенности поведения электрических и фотоэлектрических характеристик образцов после отжига и обработки в кислородной плазме связаны с изменением фазового состава оксидной пленки за счет появления кристаллитов анатаза или рутила в зависимости от условий обработки.
  1. Hamshary, Azza Amin el-: Influence of reactive sputtering process ... URL, http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/ volltexte/2011/3860/
  2. V.M. Kalygina, I.S. Egorova, I.A. Prudaev, O.P. Tolbanov. Conduction mechanism of metal-TiO2-Si structures. SIBCON-2015, Russia, Omsk
  3. V.M. Kalygina, I.S. Egorova, I.A. Prudaev, O.P. Tolbanov. Photoelectrical Characteristics of TiO2-Si Heterostructures. SIBCON-2015, Russia, Omsk

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.