Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Способ получения пленок ITO с контролируемым значением показателя преломления
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
2ЗАО "ЭПИ-ЦЕНТР", Санкт-Петербург, Россия
2ЗАО "ЭПИ-ЦЕНТР", Санкт-Петербург, Россия
Email: irina@quantum.ioffe.ru, l.markov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 23 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2016 г.
Предложен способ создания прозрачных проводящих покрытий на основе оксида индия и олова с контролируемым значением показателя преломления. Способ заключается в последовательном нанесении материала методами электронно-лучевого испарения и магнетронного распыления. Разная плотность получаемых покрытий и соответственно различные значения их показателя преломления достигаются варьированием соотношения массовых долей вещества, наносимого разными методами. В качестве примера продемонстрировано получение пленок с эффективными значениями показателя преломления 1.2, 1.4, 1.7 в диапазоне длин волн 440-460 нм. На основе предложенного метода также созданы двухслойные покрытия ITO с контролируемым значением показателя преломления входящих в них слоев, что открывает возможность получения многослойных прозрачных проводящих покрытий с требуемыми оптическими свойствами.
- Paul G. O'Brien, Yang Yang, Alongkarn Chutinan, Pratish Mahtani, Keith Leong, Daniel P. Puzzo, Leonardo D. Bonifacio, Chen-Wei Lin, Geoffrey A. Ozin, Nazir P. Kherani. Solar Energy Mater. \& Solar Cells, 102, 173 (2012)
- Paul G. O'Brien, Daniel P. Puzzo, Alongkarn Chutinan, Leonardo D. Bonifacio, Geoffrey A. Ozin, Nazir P. Kherani. Adv. Mater, 22, 611 (2010)
- Jong Kyu Kim, Thomas Gessmann, E. Fred Schubert, J.-Q. Xi, Hong Luo Jaehee Cho, Cheolsoo Sone, Yongjo Park. Appl. Phys. Lett., 88, 013 501 (2006)
- Martin F. Schubert, J.-Q. Xi, Jong Kyu Kim, E. Fred Schubert. Appl. Phys. Lett., 90, 141 115 (2007)
- Jong Kyu Kim, Sameer Chhajed, Martin F. Schubert, E. Fred Schubert, Arthur J. Fischer, Mary H. Crawford, Jaehee Cho, Hyunsoo Kim, Cheolsoo Sone. Adv. Mater., 20, 801 (2008)
- K. Robbie, L.J. Friedrich, S.K. Dew, T. Smy, M.J. Brett. J. Vac. Sci. Technol. A, 13, 1032 (1995)
- U. Betz, M. Kharrazi Olsson, J. Marthy, M.F. Escola. Thin Solid Films, 516, 1334 (2008)
- Y.Z. You, Y.S. Kim, D.H. Choi, H.S. Jang, J.H. Lee, Daeil Kim. Mater. Chem. Phys., 107 (2-3), 444 (2008)
- A. Kloppel, J. Trube. US7285342 B2, 23 Oct. 2007
- И.П. Смирнова, Л.К. Марков, А.С. Павлюченко, М.В. Кукушкин, С.И. Павлов. ФТП, 48, 61 (2014)
- Л.К. Марков, И.П. Смирнова, А.С. Павлюченко, М.В. Кукушкин, Д.А. Закгейм, С.И. Павлов. ФТП, 48, 1713 (2014)
- I.H. Malitson, M.J. Dodge. J. Opt. Soc. Am., 62, 1405 (1972)
- http://www.hoyaoptics.com/pdf/OpticalGlass.pdf
- W. Cai, V. Shalaev. Optical Metamaterials: Fundamentals and Applications. Springer Science \& Business Media, Dec. 1, 2009 - Technology \& Engineering
- В.И. Оделевский. ЖТФ, 21Б (6), 678-685 (1951)
- М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (М., Наука, 1970)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
