"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Радиационно-индуцированные бистабильные центры с глубокими уровнями в кремниевых n+-p-структурах
Ластовский С.Б.1, Маркевич В.П.2, Якушевич А.С.1, Мурин Л.И.1, Крылов В.П.3
1Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Беларусь
2Университет г. Манчестер, M13 9PL Манчестер, Англия
3Владимирский государственный университет, Владимир, Россия
Поступила в редакцию: 1 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.

Методом нестационарной спектроскопии глубоких уровней (DLTS) исследованы электрически активные дефекты в кристаллах кремния p-типа, облученных быстрыми электронами и alpha-частицами. Обнаружен и исследован новый радиационно-индуцированный дефект, обладающий свойствами бистабильных центров. После длительного хранения облученных образцов при комнатной температуре либо их кратковременного отжига при T~ 370 K дефект не проявляет электрической активности в кремнии p-типа. Однако в результате последующей инжекции неосновных носителей заряда данный центр переходит в метастабильную конфигурацию с глубокими уровнями у EV + 0.45 эВ и EV + 0.54 эВ. Обратный переход в основную конфигурацию имеет место в диапазоне температур 50-100oC и характеризуется энергией активации ~ 1.25 эВ и частотным фактором ~5 · 1015 с-1. Обнаруженный дефект термически стабилен до T~ 450 K. Предполагается, что данный дефект может быть либо комплексом собственный межузельный атом кремния-межузельный атом углерода, либо комплексом собственный межузельный атом кремния-межузельный атом бора.
  1. A. Chantre. Appl. Phys. A, 48, 3 (1989)
  2. G.D. Watkins. Mater. Sci. Forum, 38-41, 39(1989)
  3. Б.Н. Мукашев, Х.А. Абдуллин, Ю.В. Горелкинский. УФН, 43, 143 (2000)
  4. L.F. Makarenko, L.I. Murin. Phys. Status Solidi B, 145 (1), 241 (1988)
  5. G.D. Watkins. Rev. Sol. St. Science, 4 (3-4), 279 (1990)
  6. R.M. Fleming, C.H. Seager, D.V. Lang, E. Bielejec, J.M. Campbell. Appl. Phys. Lett., 90, 172 (2007)
  7. Ф.П. Коршунов, Ю.В. Богатырев. Изв. НАН Беларуси. Сер. физ.-техн. наук, 4, 106 (2008)
  8. V.P. Markevich, A.R. Peaker, B. Hamilton, S.B. Lastovskii, L.I. Murin, J. Coutinho, V.J.B. Torres, L. Dobaczewski, B.G. Svensson. Phys. Status Solidi A, 208 (3), 568 (2011)
  9. J. Coutinho, V.P. Markevich, A.R. Peaker, Hamilton B., S.B. Lastovskii, L.I. Murin, B.J. Svensson, M.J. Rayson, P.R. Briddon. Phys. Rev. B, 86, 174 101 (2012)
  10. V.P. Markevich, A.R. Peaker, B. Hamilton, S.B. Lastovskii, L.I. Murin, J. Coutinho, M.J. Rayson, P.R. Briddon, B.G. Svensson. Sol. St. Phenomena, 205-206, 181 (2014)
  11. С.Б. Ластовский, В.П. Маркевич, А.С. Якушевич, Ф.П. Коршунов, Л.И. Мурин, Л.Ф. Макаренко. Докл. НАН Беларуси, 59 (4), 57 (2015)
  12. L. Dobaczewski, A.R. Peaker, B.K. Nielsen. J. Appl. Phys., 96, 4689 (2004)
  13. L.F. Makarenko, S.B. Lastovskii, H.S. Yakushevich, M. Moll, I. Pintilie. Phys. Status Solidi A, 211 (11), 2558 (2014)
  14. J. Hermansson, L.I. Murin, T. Hallberg, V.P. Markevich, J.L. Lindstrom, M. Kleverman, B.G. Svensson. Physica B: Condens. Matter, 302-303, 188 (2001)
  15. L.I. Khirunenko, L.I. Murin, J.L. Lindstrom, M.G. Sosnin, Yu.V. Pomozov. Physica B: Condens. Matter, 308-310, 458 (2001)
  16. V.P. Markevich, A.R. Peaker, B. Hamilton, V.E. Gusakov, S.B. Lastovskii, L.I. Murin, N. Ganagona, E.V. Monakhov, B.G. Svensson. Sol. St. Phenomena, 242, 290 (2016)
  17. G. Davies, S. Hayama, L. Murin, R. Krause-Rehberg, V. Bondarenko, A. Sengupta, C. Davia, A. Karpenko. Phys. Rev. B, 73, 165 202 (2006)
  18. R. Jones, T.A.G. Eberlein, N. Pinho, B.J. Coomer, J.P. Goss, P.R. Briddon, S. Oberg. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 186, 10 (2002)
  19. M. Posselt, F. Gao, D. Zwicker. Phys Rev. B, 71, 245 202 (2005)
  20. L.I. Murin, J.L. Lindstrom, G. Davies, V.P. Markevich. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 253, 210 (2006)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.