Радиационно-индуцированные бистабильные центры с глубокими уровнями в кремниевых n+-p-структурах
Ластовский С.Б.1, Маркевич В.П.2, Якушевич А.С.1, Мурин Л.И.1, Крылов В.П.3
1Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Беларусь
2Университет г. Манчестер, M13 9PL Манчестер, Англия
3Владимирский государственный университет, Владимир, Россия
Поступила в редакцию: 1 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.
Методом нестационарной спектроскопии глубоких уровней (DLTS) исследованы электрически активные дефекты в кристаллах кремния p-типа, облученных быстрыми электронами и alpha-частицами. Обнаружен и исследован новый радиационно-индуцированный дефект, обладающий свойствами бистабильных центров. После длительного хранения облученных образцов при комнатной температуре либо их кратковременного отжига при T~ 370 K дефект не проявляет электрической активности в кремнии p-типа. Однако в результате последующей инжекции неосновных носителей заряда данный центр переходит в метастабильную конфигурацию с глубокими уровнями у EV + 0.45 эВ и EV + 0.54 эВ. Обратный переход в основную конфигурацию имеет место в диапазоне температур 50-100oC и характеризуется энергией активации ~ 1.25 эВ и частотным фактором ~5 · 1015 с-1. Обнаруженный дефект термически стабилен до T~ 450 K. Предполагается, что данный дефект может быть либо комплексом собственный межузельный атом кремния-межузельный атом углерода, либо комплексом собственный межузельный атом кремния-межузельный атом бора.
- A. Chantre. Appl. Phys. A, 48, 3 (1989)
- G.D. Watkins. Mater. Sci. Forum, 38-41, 39(1989)
- Б.Н. Мукашев, Х.А. Абдуллин, Ю.В. Горелкинский. УФН, 43, 143 (2000)
- L.F. Makarenko, L.I. Murin. Phys. Status Solidi B, 145 (1), 241 (1988)
- G.D. Watkins. Rev. Sol. St. Science, 4 (3-4), 279 (1990)
- R.M. Fleming, C.H. Seager, D.V. Lang, E. Bielejec, J.M. Campbell. Appl. Phys. Lett., 90, 172 (2007)
- Ф.П. Коршунов, Ю.В. Богатырев. Изв. НАН Беларуси. Сер. физ.-техн. наук, 4, 106 (2008)
- V.P. Markevich, A.R. Peaker, B. Hamilton, S.B. Lastovskii, L.I. Murin, J. Coutinho, V.J.B. Torres, L. Dobaczewski, B.G. Svensson. Phys. Status Solidi A, 208 (3), 568 (2011)
- J. Coutinho, V.P. Markevich, A.R. Peaker, Hamilton B., S.B. Lastovskii, L.I. Murin, B.J. Svensson, M.J. Rayson, P.R. Briddon. Phys. Rev. B, 86, 174 101 (2012)
- V.P. Markevich, A.R. Peaker, B. Hamilton, S.B. Lastovskii, L.I. Murin, J. Coutinho, M.J. Rayson, P.R. Briddon, B.G. Svensson. Sol. St. Phenomena, 205-206, 181 (2014)
- С.Б. Ластовский, В.П. Маркевич, А.С. Якушевич, Ф.П. Коршунов, Л.И. Мурин, Л.Ф. Макаренко. Докл. НАН Беларуси, 59 (4), 57 (2015)
- L. Dobaczewski, A.R. Peaker, B.K. Nielsen. J. Appl. Phys., 96, 4689 (2004)
- L.F. Makarenko, S.B. Lastovskii, H.S. Yakushevich, M. Moll, I. Pintilie. Phys. Status Solidi A, 211 (11), 2558 (2014)
- J. Hermansson, L.I. Murin, T. Hallberg, V.P. Markevich, J.L. Lindstrom, M. Kleverman, B.G. Svensson. Physica B: Condens. Matter, 302-303, 188 (2001)
- L.I. Khirunenko, L.I. Murin, J.L. Lindstrom, M.G. Sosnin, Yu.V. Pomozov. Physica B: Condens. Matter, 308-310, 458 (2001)
- V.P. Markevich, A.R. Peaker, B. Hamilton, V.E. Gusakov, S.B. Lastovskii, L.I. Murin, N. Ganagona, E.V. Monakhov, B.G. Svensson. Sol. St. Phenomena, 242, 290 (2016)
- G. Davies, S. Hayama, L. Murin, R. Krause-Rehberg, V. Bondarenko, A. Sengupta, C. Davia, A. Karpenko. Phys. Rev. B, 73, 165 202 (2006)
- R. Jones, T.A.G. Eberlein, N. Pinho, B.J. Coomer, J.P. Goss, P.R. Briddon, S. Oberg. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 186, 10 (2002)
- M. Posselt, F. Gao, D. Zwicker. Phys Rev. B, 71, 245 202 (2005)
- L.I. Murin, J.L. Lindstrom, G. Davies, V.P. Markevich. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 253, 210 (2006)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.