"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние процессов самоорганизации, дефектов, примесей, а также автокаталитических процессов на параметры пленок и наностержней ZnO
Мездрогина М.М.1, Еременко М.В.1, Петров В.Н.1, Теруков Е.И.1,2, Левицкий В.С.2, Кайдашев Е.М.3, Лянгузов Н.В.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3Южный Федеральный университет Ростов-на-Дону, Россия
Поступила в редакцию: 17 февраля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2015 г.

Исследовано влияние параметров нанесения пленок ZnO на различные материалы подложек при использовании магнетронного распыления на переменном токе в газовой смеси аргона и кислорода. Наблюдалось явление самоорганизации, приводящее к неизменности морфологии поверхности пленок ZnO при варьировании материалов подложки и параметров нанесения. Параметры спектров макро- и микрофотолюминесценции исследованных пленок ZnO незначительно отличались от параметров спектров фотолюминесценции объемных кристаллов ZnO, полученных методом гидротермального роста. Наличие интенсивного излучения с малой величиной FWHM в разных областях спектра дает возможность рассматривать пленки ZnO, полученные магнетронным распылением, легированные РЗИ, как перспективный материал при создании оптоэлектронных приборов, работающих в широком спектральном диапазоне. Возможность реализации магнитного упорядочения при легировании РЗИ существенно расширяет функциональные возможности пленок ZnO. Параметры спектров фотолюминесценции наностержней ZnO определяются геометрическими параметрами, концентрацией и типом введенных примесей.
  1. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ, 36 (5) 1258 (1994)
  2. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ, 37 (7), 2127 (1995)
  3. Е.К. Гольман, В.И. Гольдрин, Д.А. Плоткин, С.В. Разумов, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ, 39 (2), 216 (1997)
  4. Y. Katsumata, T. Morita, Y. Morimoto, T. Shintani, T. Saikai. Appl. Phys. Lett., 105 (3), 31907 (2014)
  5. A. Fallqvist, N. Ghafoor, H. Fager, L. Multman, P.O.A. Persson. Appl. Phys. Lett., 114, 224302 (2013)
  6. М.М. Мездрогина, Г.Н. Мосина, Е.И. Теруков, И.Н. Трапезникова. ФТП, 35 (6), 714 (2001)
  7. И.Р. Пригожин. От существующего к возникающему (М., Наука, 1985) с. 120
  8. H.D. Cho, A.S. Zakirov, S.U. Yuldashev, C.W. Ahn, K.Yeo, T.W. Kang. Nanotechnology, 23, 115 401 (2012)
  9. M. Law, L.E. Green, J.C. Johnson, R. Saykally, P.D. Yang. Nature Materials, 4, 455 (2005)
  10. Ya.-Che. Li, Q. Cao, X-Y Hou. J. Appl. Phys., 113, 203 518 (2013)
  11. P.M. Parthandel, R.E. Cavichi, M.R. Zacharian. Nanotechnology, 17, 3786 (2006)
  12. Yu-Ch. Chen, E. Goering, L. Jeurgens, Z. Wang, F. Philipp, J. Baers, T. Teitze, G. Schutz. Appl. Phys. Lett., 103, 162 405 (2013)
  13. N.H. Hong, J.Sakai, V. Brize. J. Phys.: Condens. Matter, 19, 036 219 (2007)
  14. G-Z. Xing, Y.H. Lu, Y.F. Tian, J.B. Yi, C.C. Lim, Y.F. Li, G.P. Li, D.D. Wang, B. Yao, J. Ding, Y.F. Feng, T. Wu. AIP Adv., 1, 022 152 (2011)
  15. A. Fallqvist, N. Ghafoor, H. Fager, L. Multman, P.O.A. Persson. Appl. Phys. Lett., 114, 224 302 (2013)
  16. В.Г. Дубровский, Г.Э. Цырлин. ФТП, 39 (11), 1312 (2005)
  17. С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсионные системы на поверхности твердых тел: механизмы образования тонких пленок (эволюционный подход) (СПб., Наука, 1996)
  18. В.Г. Дубровский, Г.Э. Цырлин, В.М. Устинов. ФТП, 39 (5), 587 (2005)
  19. S. Chalwa, M. Sahora, R.K. Kothla. Electron. Mater. Lett., 10 (1), 73 (2014)
  20. М.М. Мездрогина, М.В. Еременко, С.М. Голубенко, С.Н. Разумов. ФТТ, 54 (6), 1155 (2012)
  21. М.М. Мездрогина, Е.С. Москаленко, Ю.В. Кожанова, Н.К. Полетаев. ФТТ, 55 (5), 962 (2013)
  22. W.H. Yadwisienzak, H.J. Lozucowsky, A.Xu, B. Patel. J. Electron. Mater., 31 (7) (2002)
  23. N. Aghamalyan, R. Hovseryan, Y. Kafadaryan, R. Konstantyan, S. Petrosyan, A. Eganyan, M. Mezdrogina, R. Kuz'min J. Mater. Sci. Engin. B, 3 (2), 119 (2013)
  24. S. Ivanova, F. Pelle. J. Opt. Soc. Am., B, 26 (10), 1930 (2009)
  25. G. Brauer, W. Anwand. Phys. Rev. B, 79, 115112 (2009)
  26. А.Н. Грузинцев, А.Н. Редькин, С. Opocu, М.Н. Шкунов. ФТП, 47 (4), 516 (2013)
  27. М.М. Мездрогина, М.В. Еременко, В.С. Левицкий, Н.М. Лянгузов, В.М. Кайдашев, Е.И. Теруков, Ю.А. Шафир, Сб. тр. IX Междунаp. конф. "Аморфные и микрокристаллические полупроводники" (СПб., 2014) с. 128
  28. T. Matsumoto, H. Kato, K. Miamoto, M. Sano, E. Zhukov. Appl. Phys. Lett., 81 (7), 1231 (2002)
  29. Н.В. Лянгузов, Е.М. Кайдашев, И.Н. Захарченко, О.А. Бунина. Письма в ЖТФ, 39 (17), 27 (2013)
  30. С. Моррисон. Химическая физика поверхности твердого тела (М., Мир, 1980) р. 38.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.