"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Вольт-фарадные характеристики МДП структур (Al/Ti)/ Al2O3/n-GaN
Иванов П.А.1, Потапов А.С.1, Николаев А.E.1,2, Лундин В.В.1,2, Сахаров А.В.1,2, Цацульников А.Ф.1,2, Афанасьев А.В.3, Романов А.А.3, Осачев Е.В.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 февраля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.

Измерены и проанализированы вольт-фарадные характеристики МДП структур (Al/Ti)/Al2O3/n-GaN. Пленки GaN n-типа проводимости выращены на сапфировых подложках с ориентацией (0001) методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений. Оксид алюминия толщиной 60 нм нанесен на поверхность GaN методом атомно-слоевого осаждения из газовой фазы. Металлические контакты напылены электронно-лучевым испарением титана и алюминия в вакууме. По данным измерений напряженность поля пробоя оксида, относительная диэлектрическая проницаемость оксида и интегральная плотность электронных состояний на границе раздела оксид - полупроводник составляют 5·106 В/см, 7.5 и 3·1012 см-2 соответственно.
  1. N. Ikeda, Y. Niiyama, H. Kambayashi, Y. Sato, T. Nomura, S. Kato, S. Yoshida. Proc. IEEE, 98, 1151 (2010)
  2. H. Kambayashi, Y. Satoh, S. Ootomo, T. Kokawa, T. Nomura, S. Kato, T.P. Chow. Sol. St. Electron., 54, 660 (2010)
  3. J. Son, V. Chobpattana, B.M. McSkimming, S. Stemmer. Appl. Phys. Lett., 101, 102 905 (2012)
  4. W.V. Lundin, A.E. Nikolaev, M.M. Rozhavskaya, E.E. Zavarin, A.V. Sakharov, S.I. Troshkov, M.A. Yagovkina, A.F. Tsatsulnikov. J. Cryst. Growth, 370, 7 (2013)
  5. В.В. Лучинин, Е.В. Осачев, А.А. Романов, Э.А. Майоров. Вакуумная техника и технология, 24, 28 (2014)
  6. С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1
  7. L.M. Termann. Sol. St. Electron., 5, 285 (1962)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.