"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Вольт-фарадные характеристики МДП структур (Al/Ti)/ Al2O3/n-GaN
Иванов П.А.1, Потапов А.С.1, Николаев А.E.1,2, Лундин В.В.1,2, Сахаров А.В.1,2, Цацульников А.Ф.1,2, Афанасьев А.В.3, Романов А.А.3, Осачев Е.В.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 февраля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.

Измерены и проанализированы вольт-фарадные характеристики МДП структур (Al/Ti)/Al2O3/n-GaN. Пленки GaN n-типа проводимости выращены на сапфировых подложках с ориентацией (0001) методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений. Оксид алюминия толщиной 60 нм нанесен на поверхность GaN методом атомно-слоевого осаждения из газовой фазы. Металлические контакты напылены электронно-лучевым испарением титана и алюминия в вакууме. По данным измерений напряженность поля пробоя оксида, относительная диэлектрическая проницаемость оксида и интегральная плотность электронных состояний на границе раздела оксид - полупроводник составляют 5·106 В/см, 7.5 и 3·1012 см-2 соответственно.
  • N. Ikeda, Y. Niiyama, H. Kambayashi, Y. Sato, T. Nomura, S. Kato, S. Yoshida. Proc. IEEE, 98, 1151 (2010)
  • H. Kambayashi, Y. Satoh, S. Ootomo, T. Kokawa, T. Nomura, S. Kato, T.P. Chow. Sol. St. Electron., 54, 660 (2010)
  • J. Son, V. Chobpattana, B.M. McSkimming, S. Stemmer. Appl. Phys. Lett., 101, 102 905 (2012)
  • W.V. Lundin, A.E. Nikolaev, M.M. Rozhavskaya, E.E. Zavarin, A.V. Sakharov, S.I. Troshkov, M.A. Yagovkina, A.F. Tsatsulnikov. J. Cryst. Growth, 370, 7 (2013)
  • В.В. Лучинин, Е.В. Осачев, А.А. Романов, Э.А. Майоров. Вакуумная техника и технология, 24, 28 (2014)
  • С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1
  • L.M. Termann. Sol. St. Electron., 5, 285 (1962)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.