"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Глубокие центры в структурах TiO2-Si
Калыгина В.М.1, Петрова Ю.С.1, Прудаев И.А.1, Толбанов О.П.1, Цупий С.Ю.1
1Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 11 ноября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.

Изучено влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на электрические и фотоэлектрические характеристики структур металл-TiO2-Si. Пленки TiO2 получали магнетронным высокочастотным распылением мишени оксида титана на ненагретые подложки n-Si. Прямые и обратные токи структур после отжига в аргоне при 500oC были меньше, чем после отжига при 750oC. Обработка пленок диоксида титана в кислородной плазме приводила к снижению токов независимо от температуры отжига. Предполагается, что вольт-амперные характеристики структур TiO2-Si могут быть описаны в рамках модели токов, ограниченных пространственным зарядом. Фотоэлектрические характеристики образцов исследовали, используя свет с длиной волны lambda=400 нм. В структурах TiO2-Si после отжига при 500oC без экспозиции в кислородной плазме обнаружена замороженная фотопроводимость. Время релаксации составляет (23±2) мин.
  • A. Janotti, C. Franchini, J.B. Varley, G. Kreesse, C.G. Van de Walle. Phys. Status Solidi RRL, 7 (3), 199 (2013)
  • A.I. Kuznetsov, O. Kameneva, A. Alexandrov, N. Bityurin, Ph. Marteau, K. Chhor, C. Sanchez, A. Kanaev. Phys. Rev. E, 71 (2), 021 403 (2005)
  • L.-B. Xiong, J.-L. Li, B. Yang, Y. Yu. J. Nanomater., 2012, 831 524 (2012)
  • A.I. Kuznetsov, O. Kameneva, A. Alexandrov, N. Bityurin, K. Chhor, A. Kanaev. J. Phys. Chem. B, 110, 435 (2006)
  • A. Sirisuk, E. Klansorn, P. Praserthdam. Catal. Commun., 9 (9), 1810 (2008)
  • N. Sakai, R. Wang, A. Fujishima, T. Watanabe, K. Hashimoto. Langmuir, 14 (20), 5918 (1998)
  • N. Sakai, A. Fujishima, T. Watanabe, K. Hashimoto. J. Phys. Chem. B, 105 (15), 3023 (2001)
  • N. Sakai, A. Fujishima, T. Watanabe, K. Hashimoto. J. Phys. Chem. B, 107 (4), 1028 (2003)
  • N. Bityurin, A.I. Kuznetsov, A. Kanaev. Appl. Surf. Sci., 248 (1--4), 86 (2005)
  • J. Huang, M. Wang, J. Zhao, N. Gao, Y. Li. Appl. Radiation Isotopes, 54 (3), 475 (2001)
  • E. Yagi, R.R. Hasiguti, M. Aono. Phys. Rev. B, 54, 7945 (1996)
  • В.М. Калыгина, В.А. Новиков, Ю.С. Петрова, О.П. Толбанов, Е.В. Черников, С.Ю. Цупий, Т.М. Яскевич. ФТП, 47 (7), 989 (2014)
  • M. Chandra Sekhar, P. Kondaiah, S.V. Jagadeesh Chandra et al. Surf. Interface Anal., 44, 1299 (2012)
  • K. Shubham, R.U. Khan. J. Nano- and Electronic Physics, 5 (1), 01 021 (2013)
  • P. Kondaiah1, M. Chandra Sekhar, S.V. Jagadeesh Chandra, R. Martins, S. Uthanna1, E. Elangovan. IOP Conf. Series: Mater. Sci. Engin., 30, 012 005 (2012)
  • B.S. Richards, J.E. Cotter, C.B. Honsberg et al. Proc. 28th IEEE PVSC (Anchorage, 2000) p. 5
  • S. Springer. Physicien dipl\^ome. (Institut de Physique de la Matiere Complexe, Lausanne, EPFL, 2004.)
  • Yu.S. Milovanov, I.V. Gavrilchenko, V.Ya. Gayvoronsky, A.I. Kuznetsov, V.A. Skryshevsky. Ukr. J. Phys., 57 (5), 545 (2012)
  • Ю.В. Герасименко, В.А. Логачёва, А.М. Ховив. Конденсированные среды и межфазные границы, 12 (2), 113 (2010)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.