"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Нитридизация нереконструированной и реконструированной (sqrt(31)sqrt поверхности (0001) сапфира в потоке аммиака
Милахин Д.С.1, Малин Т.В.1, Мансуров В.Г.1, Галицин Ю.Г.1, Журавлев К.С.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 12 ноября 2014 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2015 г.

Работа посвящена изучению методом дифракции быстрых электронов на отражение процесса нитридизации нереконструированной и реконструированной (sqrt(31)sqrt поверхностей (0001) сапфира в потоке аммиака. Результаты эксперимента показали, что на нереконструированной поверхности (1x1) происходит нитридизация сапфира, приводящая к образованию фазы AlN на поверхности подложки. Однако, если перед процессом нитридизации сапфира проводить высокотемпературный отжиг (1150oС), приводящий к перестройке поверхности сапфира с образованием реконструкции (sqrt(31)sqrt, то кристаллическая фаза AlN на поверхности сапфира в процессе экспонирования поверхности в потоке аммиака не образуется.
  1. B. Agnarsson, M. Gothelid, S. Olafsson, H.P. Gislason, U.O. Karlsson. J. Appl. Phys., 101, 013 519 (2007)
  2. S. Strite, H. Morkoc. J. Vac. Sci. Technol. B, 10, 1237 (1992)
  3. K. Uchida, A. Watanabe, F. Yano, M. Kouguchi, T. Tanaka, S. Minagawa. J. Appl. Phys., 79, 3487 (1996)
  4. S. Nakamura, T. Mukai, M. Senoh. Jpn. J. Appl. Phys., prt 2, 30, L1708 (1991)
  5. Y. Cho, Y. Kim, E.R. Weber, S. Ruvimov, Z. Liliental-Weber. J. Appl. Phys., 85, 7909 (1999)
  6. Y. Saito, T. Akiyama, K. Nakamura, T. Ito. J. Cryst. Growth, 362, 29 (2013)
  7. А.Н. Алексеев, Д.М. Красовицкий, С.И. Петров, В.П. Чалый. ФТП, 46 (11), 1460 (2012)
  8. T. Yamaguchi, T. Araki, Y. Saito, K. Kano, H. Kanazawa, Y. Nanishi, N. Teraguchi, A. Suzuki. J. Cryst. Growth, 237--239, 993 (2002)
  9. K. Balakrishnan, H. Okumura, S. Yoshida. J. Cryst. Growth, 189--190, 244 (1998)
  10. F. Widmann, G. Feuillet, J.L. Rouvi\`ere. J. Appl. Phys., 85, 1550 (1999)
  11. G. Namkoong, W.A. Doolittle, A.S. Brown. J. Appl. Phys., 91, 2499 (2002)
  12. C. Heinlein, J.K. Grepstad, S. Einfeldt, D. Hommel, T. Berge, A.P. Grande. J. Appl. Phys., 83, 6023 (1998)
  13. N. Grandjean, J. Massies, M. Leroux. J. Appl. Phys., 69, 2071 (1996)
  14. Y. Wang, S.A. Ozcan, G. Ozaydin, K. Ludwig, jr., A. Bhattacharyya, T.D. Moustakas, H. Zhou, R.L. Headrick, D.P. Siddons. Phys. Rev. B, 74, 235 304 (2006)
  15. T.M. French, G.A. Somorjai. J. Phys. Chem., 74, 2489 (1970)
  16. P.S.P. Wei, A.W. Smith. J. Vac. Sci. Technol., 9, 1209 (1972)
  17. Физическая энциклопедия. URL: http://dic.academic.ru /dic.nsf/enc\_physics/4526 /РЕКОНСТРУКЦИЯ
  18. G. Renaud, B. Villette, I. Vilfan, A. Bourret. Phys. Rev. Lett., 73, 1825 (1994)
  19. A. Chame, F. Lancon, P. Politi, G. Renaud, I. Vilfan, J. Villain. Int. J. Modern Phys. B, 11, 3657 (1997)
  20. I. Vilfan, F. Lancon, J. Villain. Surf. Sci., 392, 62 (1997)
  21. C. Barth, M. Reichling. Nature, 414, 54 (2001)
  22. E.A.A. Jarvis, E.A. Carter. J. Phys. Chem. B, 105, 4045 (2001)
  23. J.V. Lauritsen, M.C.R. Jensen, K. Venkataramani, B. Hinnemann, S. Helveg, B.S. Clausen, F. Besenbacher. Phys. Rev. Lett., 103, 76 103 (2009)
  24. H. Brune, J. Wintterlin, J. Trost, G. Ertl, J. Wiechers, R.J. Behm. J. Chem. Phys., 99, 2128 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.