"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Количественное описание свойств протяженных дефектов в кремнии с помощью тока, наведенного электронным и лазерным пучками
Шабельникова Я.Л.1, Якимов Е.Б.1, Николаев Д.П.2, Чукалина М.В.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2Институт проблем передачи информации им. А.А. Харкевича Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 27 ноября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

Солнечный элемент на пластине мультикристаллического кремния, содержащего границы зерен, исследовался методом наведенного тока. Было проведено сканирование образца пучком электронов, а также лазерным пучком на двух длинах волн (980 и 635 нм). Зарегистрированные карты наведенного тока были совмещены с помощью специально разработанного кода, что позволило анализировать один и тот же участок границы зерна для трех типов измерений. В результате оптимизации невязки между модельными профилями наведенного тока и экспериментально измеренными были получены количественные оценки характеристик образца и дефекта в нем --- диффузионной длины и скорости рекомбинации на границе зерна.
  1. Е.Б. Якимов, В.И. Орлов. Поверхность, N 9, 5 (2014)
  2. Properties of Crystalline Silicon, ed. by R. Hull (London, INSPEC, 1999)
  3. Я.Л. Шабельникова, Е.Б. Якимов, М.В. Григорьев, Р.Р. Фахртдинов, В.А. Бушуев. Письма ЖТФ, 38 (20), 1 (2012)
  4. Я.Л. Шабельникова, Е.Б. Якимов. Поверхность, N 11, 27 (2012)
  5. С. Donolato. Appl. Phys. Lett., 46 (3), 270 (1985)
  6. С. Donolato. J. Appl. Phys., 54 (3), 1314 (1982)
  7. T. Wilson, E.M. McCabe. J. Appl. Phys., 61 (1), 191 (1988)
  8. U. Werner, F. Koch, G. Oelgart. J. Phys. D: Appl. Phys., 21 (1), 116 (1988)
  9. С. Donolato. Phys. Status Solidi, 65 (2), 649 (1981)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.