Прекурсорная самоорганизация при СВЧ вакуумно-плазменном осаждении субмонослойных углеродных покрытий на кристаллах кремния (100)
Яфаров Р.К.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 29 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2015 г.
Методами сканирующих атомно-силовой и электронной микроскопии исследована кинетика самоорганизации наноразмерных доменов при осаждении субмонослойных углеродных покрытий на кремнии (100) в СВЧ плазме паров этанола низкого давления. Предложены модельные механизмы формирования кремний-углеродных доменов, которые основаны на использовании модели адсорбции Ленгмюра из прекурсорного состояния и современных представлений о модификации равновесной структуры верхнего атомного слоя кристаллических полупроводников под влиянием внешних воздействий.
- Н.Н. Герасименко, Ю.Н. Пархоменко. Кремний --- материал наноэлектроники (М., Техносфера, 2007)
- В.Я. Шаныгин, Р.К. Яфаров. ФТП, 45 (11), 1542 (2011)
- Р.К. Яфаров. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий (М., Физматлит, 2009)
- В.Я. Шаныгин, Р.К. Яфаров. ФТП. 47 (4), 447 (2013)
- К. Оура, В.Г. Лифшиц, А.А. Саранин, А.В. Зотов, М. Катаяма. Введение в физику поверхности (М., Наука, 2006)
- В.М. Иевлев, Л.И. Трусов, В.А. Холмянский. Структурные превращения в тонких пленках (М., Металлургия, 1982)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
