Управление морфологией AlN при молекулярно-пучковой эпитаксии с плазменной активацией азота на подложках Si(111)
Мизеров А.М.1, Кладько П.Н.1, Никитина Е.В.1, Егоров А.Ю.1
1Санкт-Петербургский Академический университет --- научно-образовательный центр нанотехнологий Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.
Приведены результаты исследований кинетики роста слоев AlN при молекулярно-пучковой эпитаксии с плазменной активацией азота с использованием подложек Si(111). Показана возможность роста отдельных наноколонн AlN/Si(111) при использовании условий роста с обогащением поверхности металлом, вблизи режима образования капель Al при температуре подложки, близкой к максимальной при молекулярно-пучковой эпитаксии с плазменной активацией азота (Ts~850oC). Показана возможность роста гладких слоев AlN на наноколончатом буфере AlN/Si(111) при использовании Ts~750oC и условий роста, обеспечивающих обогащение металлом.
- A. Bourret, A. Barski, J. L. Rouvi\`ere, G. Renaud, A. Barbier. J. Appl. Phys., 83, 2003 (1998)
- Kuang-Yuan Hsu, Hung-Chin Chung, Chuan-Pu Liu, Li-Wei Tu. Appl. Phys. Lett., 90, 211 902 (2007)
- G. Koblmueller, R. Averbeck, L. Geelhaar, H. Riechert, W. Hosler, P. Pongratz. J. Appl. Phys., 93, 9591 (2003)
- M.D. Brubaker, I. Levin, A.V. Davydov, D.M. Rourke, N.A. Sanford, V.M. Bright, K.A. Bertness. J. Appl. Phys., 110, 053 506 (2011)
- G. Ferro, H. Okumura, T. Ide, S. Yoshida. J. Cryst. Growth, 210, 429 (2000)
- A.R.K. Getty, A. David, Y. Wu, C. Weisbuch, J.S. Speck. Jpn. J. Appl. Phys., 46, L767 (2007)
- V.N. Jmerik, A.M. Mizerov, D.V. Nechaev, P.A. Aseev, A.A. Sitnikova, S.I. Troshkov, P.S. Kop'ev, S.V. Ivanov. J. Cryst. Growth, 354, 188 (2012)
- O. Landre, R. Songmuang, J. Renard, E. Bellet-Amalric, H. Renevier, B. Daudin. Appl. Phys. Lett., 93, 183 109 (2008)
- M. Yoshizawa, A. Kikuchi, M. Mori, N. Fujita, K. Kishino. Jpn. J. Appl. Phys., 36, L459 (1997)
- A. Ishizaka, Y. Shiraki. J. Eltrochem. Soc., 133, 666 (1986)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.