"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние избытка компонентов на электрические свойства пленок антимонида индия
Гуляев А.М.1, Шнитников А.С.1
1Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 10 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.

Исследованы причины аномального поведения холловской подвижности носителей заряда при уменьшении температуры измерения от 300 K в пленках антимонида индия, полученных методом трех температур. Экспериментально показано, что существуют провалы "допустимых" температур испарителей компонентов и подложки, в пределах которых получаются сплошные проводящие пленки. Определены оптимальные режимы изготовления образцов, для которых значения подвижности остаются практически неизменными в интервале температур 150-350 K. На основе сопоставления со спектрами оптического пропускания сделан вывод о наличии в пленках высокой концентрации дефектов, связанных с отклонением состава от стехиометрии и выполняющих роль донорных и акцепторных центров. Наличие таких дефектов позволяет объяснить снижение подвижности в пленках при уменьшении температуры.
  1. Н.А. Горюнова. Химия алмазоподобных полупроводников (Изд-во Ленингр. ун-та, 1963)
  2. Ю.В. Гуляев, А.А. Веселов, А.Г. Веселов. ЖТФ, 74 (8), 113 (2004)
  3. К.В. Шалимова, А.М. Гуляев, В.Л. Тарасов, А.С. Шнитников. Электрон. техн. Полупроводн. матер., 14 (2), 77 (1969)
  4. А.А. Несмеянов. Давление пара химических элементов (М., Изд-во АН СССР, 1961)
  5. W. Hanlein, K.G. Gunther. I International Congress fur Vakuumtechnik (1956)
  6. Б.Ф. Ормонт, Н.А. Горюнова, И.Н. Агеева, Н.Н. Федорова. Изв. АН СССР. Сер. физ., 21 (1), 133 (1957)
  7. В.Т. Бублик, Б.Н. Кеварков, Б. Босвенский. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 20 (3), 364 (1984)
  8. Ф.А. Заитов, А.Я. Поляков, О.В. Горшкова. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 17 (5), 778 (1981)
  9. В.Д. Вернер, Д.К. Пичуговский. ФТП, 7 (10), 1012 (1973)
  10. Т.В. Абаева, В.Т. Бублик, А.Н. Морозов. Изв. АН СССР. Неорг. матер., 24 (1), 15 (1988)
  11. M. Oswfldovski. Thin Sol. Films, 56, 331 (1970)
  12. K.G. Gunter. Naturwissenshaften, 45 (17), 415 (1958)
  13. J.Y. Tsao. J. Cryst. Growth, 110, 595 (1991)
  14. Е.В. Загорянская, П.С. Киреев. Изв. вузов. Физика, 4, 124 (1961)
  15. Е.М. Воронкова, Б.Н. Гречушников, Г.И. Дистлер, И.П. Петров. Оптические материалы для инфракрасной техники (Справочное издание) (Наука, 1965) с. 255
  16. Ida Sh. J. Appl. Phys., 65 (2), 636 (1989)
  17. С.В. Варганов, А.М. Гуляев. Электрон. техн. Материалы, вып. 5, 4 (1979)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.