"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Эпитаксиальный рост гексагональных политипов кремния на сапфире
Павлов Д.А.1, Пирогов А.В.1, Кривулин Н.О.1, Бобров А.И.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 23 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2014 г.

В структурах кремний на сапфире методами высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии обнаружено формирование монокристаллического гексагонального политипа кремния. Возникновение включений со структурой, отличной от структуры алмаза, связывается с образованием в кристаллической решетке кремния областей интенсивного двойникования и скоплений дефектов упаковки, формирующих собственную кристаллическую структуру. Проведенные исследования указывают на принадлежность данной модификации к политипу кремния 9R.
  1. J. Bandet, B. Despax, M. Caumont. J. Phys. D: Appl. Phys., 35 (3), 239 (2002)
  2. И.М. Шмытько, А.Н. Изотов, Н.С. Афоникова, С. Виейра, Г. Рубио. ФТТ, 40 (4), 746 (1998)
  3. M.E. Twig, E.D. Richmond, J.G. Pellegrino. Appl. Phys. Lett., 54 (18), 1766 (1989)
  4. П.А. Шиляев, Д.А. Павлов, Е.В. Коротков, М.В. Треушников. Матер. электрон. техн., N 2, 62 (2008)
  5. Н.О. Кривулин, Д.А. Павлов, П.А. Шиляев, Е.В. Коротков, В.А. Гладышева, А.И. Бобров. Вестн. ННГУ, N 3, 30 (2012)
  6. Д.А. Павлов, П.А. Шиляев, Е.В. Коротков, Н.О. Кривулин, А.И. Бобров. Изв. РАН. Сер. физ., 76 (9), 1115 (2012)
  7. Д.А. Павлов, П.А. Шиляев, Е.В. Коротков, Н.О. Кривулин, А.В. Нежданов, С.М. Планкина, Е.А. Питиримова, М.В. Ромашова. Матер. электрон. техн., N 4, 44 (2010)
  8. Д.А. Павлов, П.А. Шиляев, Н.О. Кривулин, А.И. Бобров, А.В. Пирогов. Вестн. ННГУ, N 4 (1), 38 (2013)
  9. B. Wen, J. Zhao, M.J. Bucknum, P. Yao, T. Li. Diamond Relat. Mater., 17, 356 (2008)
  10. H. Cerva. J. Mater. Res., 6 (11), 2324 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.