"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Синтез пленок титаната стронция золь-гель методом и перспективы их применения в электронной технике
Сохраби Анараки Х.1, Гапоненко Н.В.1, Руденко М.В.1, Гук А.Ф.1, Завадский С.М.1, Голосов Д.А.1, Колосницын Б.С.1, Колос В.В.2, Петлицкий А.Н.2, Турцевич А.С.2
1Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
2ОАО "Интеграл", Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 20 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

Золь-гель методом получены пленки титаната стронция на подложках кремния и структурах кремний/оксид титана/платина. Фаза титаната стронция зарегистрирована методом рентгенофазового анализа после термообработки при температурах 750 и 800oC. Толщина пленок, полученных методом центрифугирования, возрастает от 50 до 250 нм с увеличением числа формируемых слоев и сопровождается ростом ее зерна. Обсуждаются перспективы развития золь-гель метода для формирования пленочных элементов электронной техники на основе ксерогелей SrTiO3.
  1. L. Mechin, G.J. Gerritsma, J.G. Lopez. Physica C, 324, 47 (1999)
  2. S. Baba, K. Numata, S. Miyake. Sci. Technol. Adv. Mater., 1, 211 (2000).
  3. B.C. Russell, M.R. Castell. J. Phys. Chem. C, 112, 6538 (2008)
  4. K. Fukushima, S. Shibagaki. Thin Sol. Films, 315, 238 (1998)
  5. A.M. Kaiser, A.X. Gray, G. Conti, B. Jalan, A.P. Kajdos, A. Gloskovskii, S. Ueda, Y. Yamashita, K. Kobayashi, W. Drube, S. Stemmer, C.S. Fadley. Appl. Phys. Lett., 100, 261 603 (2012)
  6. W. Chang, S.W. Kirchoefer, J.M. Pond, J.A. Bellotti, Syed B. Qadri. J. Appl. Phys., 96, 11 (2004)
  7. T.M. Im, J.Y. Park, H.J. Kim, H.K. Choi, K.W. Jung, D. Jung. Bull. Korean Chem. Soc., 29, 427 (2008)
  8. K. Katsumata, T. Shichi, A. Fujishima. J. Ceramic Soc. Japan, 118, 43 (2010)
  9. S. Fuentes, R.A. Zarate, E. Chavez, P. Munoz, D. Diaz-Droguett, P. Leyton. J. Mater. Sci., 45, 1448 (2010)
  10. W. Hofman, S. Hoffmann, R. Waster. Thin Sol. Films, 305, 66 (1997)
  11. F.M. Pontes, E.R. Leite, E.J.H. Lee, E. Longo, J.A. Varela. J. Eur. Ceramic Soc., 21, 419 (2001)
  12. S. Hirose, A. Nakayama, H. Niimi, K. Kageyama, H. Takagi. J. Appl. Phys., 104, 053 712 (2008)
  13. M.H. Tang, Z.P. Wang, J.C. Li, Z.Q. Zeng, X.L. Xu, G.Y. Wang, L.B. Zhang, Y.G. Xiao, S.B. Yang, B. Jiang, J. He. Semicond. Sci. Technol., 26, 075 019 (2011)
  14. D. Fernandez-Hevia, J. de Frutos, A.C. Caballero, J.F. Fernandez. J. Appl. Phys., 92, 2890 (2002)
  15. N.V. Gaponenko. Synthetic Metals, 124, 125 (2001)
  16. T.W. Kim, N.V. Gaponenko, E.A. Stepanovna, T.F. Kuznetsova, A.I. Rat'ko. J. Appl. Spectroscopy, 76, 833 (2009)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.