Вышедшие номера
Многопериодные квантово-каскадные наногетероструктуры: эпитаксия и диагностика
Егоров А.Ю.1, Брунков П.Н.1,2, Никитина Е.В.1, Пирогов Е.В.1, Соболев М.С.1, Лазаренко А.А.1, Байдакова М.В.2, Кириленко Д.А.2, Конников С.Г.2
1Санкт-Петербургский Академический университет --- научно-образовательный центр нанотехнологий Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 20 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

Обсуждаются успехи технологии производства многопериодных наногетероструктур квантово-каскадных лазеров, с числом каскадов равным 60, методом молекулярно-пучковой эпитаксии с использованием промышленной многоподложечной установки. Приведены результаты исследования наногетероструктур квантово-каскадных лазеров методами просвечивающей электронной микроскопии, рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения и картографирования фотолюминесценции.