"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Эффекты упорядочения наноструктур в системе Si / Ge0.3Si0.7 / Ge при молекулярно-пучковой эпитаксии
Цырлин Г.Э.1,2,3, Егоров В.А.1,2,3, Соколов Л.В.3,4, Werner P.3
1Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Max-Planck Institut fur Mikrostrukturphysik, Halle / Saale, Germany
4Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 24 апреля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2002 г.

Исследованы структурные свойства нанообъектов в гетероэпитаксиальной системе Si / Ge0.3Si0.7 / Ge методом атомно-силовой микроскопии. Установлено, что образование нанометровых островков происходит при меньших толщинах осажденного Ge, чем в случае Si / Ge гетероэпитаксии. Обнаружены эффекты пространственного упорядочения наноструктур: образование hut-кластерами групп вокруг кратеров на начальной стадии образования трехмерных объектов и выстраивание dome-кластеров в ряды при повышении количества осажденного Ge.
  1. Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов, В.А. Щукин, П.С. Копьев, Ж.И. Алфёров, Д. Бимберг. ФТП, 32, 385 (1998)
  2. D. Bimberg, M. Grundmann, N.N. Ledentsov. Quantum dot heterostructures (Willey, Chichester, 1998)
  3. G.E. Cirlin, G.M. Guryanov, A.O. Golubok, S.Ya. Tipissev, N.N. Ledentsov, P.S. Kop'ev, M. Grundmann, D. Bimberg. Appl. Phys. Lett., 67, 97 (1995)
  4. Г.Э. Цырлин, В.Н. Петров, С.А. Масалов, А.О. Голубoк. ФТП, 33, 733 (1999)
  5. J. Tersoff, C. Teichert, M.G. Lagally. Phys. Rev. Lett., 76, 1675 (1996)
  6. O.G. Schmidt, N.Y. Jin-Phillipp, C. Lange, U. Denker, K. Eberl, R. Schreiner, H. Grabeldiner, H. Schweizer. Appl. Phys. Lett., 77, 4139 (2000)
  7. D.D. Chambliss, R.J. Wilson, S. Chiang. Phys. Rev. Lett., 66, 1721 (1991)
  8. Г.Э. Цырлин, П. Вернер, У. Гёзеле, Б.В. Воловик, В.М. Устинов, Н.Н. Леденцов. Письма ЖТФ, 27 (1) 31 (2001)
  9. О.П. Пчеляков, Ю.Б. Болховитянов, А.В. Двуреченский, Л.В. Соколов, А.И. Никифоров, А.И. Якимов, Б. Фойхтлендер. ФТП, 34, 1281 (2000)
  10. A. Madhukar. Surf. Sci., 132 344 (1983)
  11. P. Smilauer. Vacuum, 50, 115 (1998)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.