"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Кристаллизация пленок аморфного гидрированного кремния, осажденных при различных условиях
Голикова О.А.1, Богданова Е.В.1, Бабаходжаев У.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 февраля 2002 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2002 г.

Анализируются возможности применения технологии MASD (magnetron assisted silane decomposition) для осаждения пленок a-Si : H как базовых материалов для получения поликремния. Показано, как особенности структуры пленок влияют на эффект кристаллизации.
  1. M. Sudhar, D.D. Cyung, W.A. Anderson, J. Coleman. MRS Symp. Proc., 356, 921 (1995)
  2. A. Szekeres, M. Garther, F. Vasiliu et al. J. Non-Cryst. Sol., 227-- 230, 954 (1998)
  3. N.H. Nickel. MRS Symp. Proc., 378, 381 (1995)
  4. О.А. Голикова, А.Н. Кузнецов, В.Х. Кудоярова, И.Н. Петров, Э.П. Домашевская, В.А. Терехов. ФТП, 34, 86 (2000)
  5. K. Pangal, J.C. Sturm, S. Wagner. MRS Symp. Proc., 507, 577 (1998)
  6. P. Lengsfield, N.H. Nickel, W. Fuhs. Abstracts ICAMS-18, USA, 1999, FA2.1
  7. О.А. Голикова, М.М. Казанин, О.И. Коньков, В.Х. Кудояров, Е.И. Теруков. ФТП, 30, 405 (1996)
  8. K. Akiyama, A. Ogiwara, H. Ogawa. Jap. J. Appl. Phys., 33, pt I, 5793 (1994)
  9. P. Roca i Cabarrocas, N. Layadi, M. Kunst. Proc. 14th European Photovoltaic Solar Energy Conference, Spain, 1997, P5A.20
  10. S. Vignoli, R. Butte, R. Meaudre, M. Meaudre, P. Roca i Cabarrocas. J. Phys.: Condens. Matter., 11, 8749 (1999)
  11. О.А. Голикова, М.М. Казанин. ФТП, 33, 110 (1999)
  12. Yu. He, Ch. Yin, G. Cheng, L. Wang. J. Appl. Phys., 75, 797 (1994)
  13. M. Fyta, I. Remediakis, P.C. Kelires, E. Kaxiras. Abstracts ICAMS-19, France, 2001, Th-B3/2

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.