Вышедшие номера
Влияние адсорбции на электрофизические свойства структур на основе окисленного пористого кремния
Биленко Д.И.1, Белобровая О.Я.1, Жаркова Э.А.1, Мысенко И.Б.1, Хасина Е.И.1
1Научно-исследовательский институт механики и физики при Саратовском государственном университете им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 27 августа 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.

Изучено влияние адсорбции полярных молекул сероводорода, ацетона на вольт-амперные характеристики и временные зависимости тока структур на основе окисленного пористого кремния типа <Pd-ПКО-p+-Si-Al>. Получены структуры двух видов: с барьером Шоттки и с токами, ограниченными пространственным зарядом. Обнаружено наличие положительного объемного заряда у палладиевого электрода, который определяет вольт-амперные характеристики в области V<0.2 В и его существенное изменение с газом. Найдены параметры слоя окисленного пористого кремния и рабочие напряжения, при которых наблюдается наиболее существенное влияние газа. Максимальное изменение тока до ~ 103 раз при воздействии сероводорода концентрацией ~ 10 ppm получено на структурах с барьером Шоттки при обратном напряжении, близком к обратимому пробою. Полученные результаты объясняются перезарядкой ловушек, о чем свидетельствует сдвиг уровня Ферми, и снижением барьера Шоттки при адсорбции полярных молекул.