"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Моделирование проникновения водорода в кремний p-типа в процессе жидкостного химического травления
Феклисова О.В.1, Якимов Е.Б.1, Ярыкин Н.А.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 26 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2002 г.

Проведено моделирование проникновения водорода в Si p-типа и формирования водородсодержащих дефектов в процессе жидкостного химического травления. Рассчитанные профили распределения водородсодержащих дефектов сравнивались с измеренными. Показано, что в кристаллах с низкой концентрацией ловушек необходимо учитывать релаксацию распределения водорода после окончания травления. Учет такой релаксации позволяет описать все экспериментальные профили без предположения об аномально высоком коэффициенте диффузии. С другой стороны, предположение о большом коэффициенте диффузии водорода также позволяет описать экспериментальные профили и существенно уменьшает влияние релаксации. Показано, что сравнительный анализ профилей распределения водородсодержащих центров позволяет определять количество содержащихся в них атомов водорода как в случае, когда эти профили в основном формируются в процессе травления, так и в условиях, когда они существенно модифицируются релаксационной диффузией водорода.
  • A.J. Tavendale, A.A. Williams, S. Alexiev, S.J. Pearton. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 104, 285 (1988)
  • C.H. Seager, R.A. Anderson, D.K. Brice. J. Appl. Phys., 68, 3268 (1990)
  • А.Л. Парахонский, О.В. Феклисова, С.С. Карелин, Н.А. Ярыкин. ФТП, 30, 670 (1996)
  • O.V. Feklisova, N. Yarykin. Semicond. Sci. Techn., 12, 742 (1997)
  • E.O. Sveinbjornsson, G.I. Andersson, O. Engstrom. Phys. Rev. B, 47, 7801 (1994)
  • N. Yarykin, J.-U. Sachse, H. Lemke, J. Weber. Phys. Rev. B, 59, 5551 (1999)
  • J.-U. Sachse, J. Weber, E.O. Sveinbjornsson. Phys. Rev. B, 60, 1474 (1999)
  • S.J. Pearton, J.W. Corbett, M. Stavola. Hydrogen in Crystalline Semiconductors (Springer Verlag, Heidelberg, 1992) p. 200
  • A.J. Tavendale, D. Alexiev, A.A. Williams. Appl. Phys. Lett., 47, 317 (1985)
  • T. Zundel, J. Weber. Phys. Rev. B, 39, 2071 (1992)
  • A. Van Wieringen, N. Warmoltz. Physica, 22, 849 (1956)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.