Влияние уровня легирования на фотопроводимость пленок микрокристаллического гидрированного кремния
Казанский А.Г.1, Мелл Х.1, Теруков Е.И.1, Форш П.А.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 12 апреля 2001 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2001 г.
Исследовано влияние уровня легирования бором пленок микрокристаллического гидрированного кремния на температурные зависимости стационарной фотопроводимости и времени фотоответа. Измерения проведены в области температур 130-450 K при облучении пленок квантами света с энергией 1.4 эВ. Получено, что с ростом уровня легирования величина стационарной фотопроводимости и время фотоответа возрастают. Предложена модель рекомбинации неравновесных носителей, учитывающая многофазную структуру микрокристаллического кремния и позволяющая удовлетворительно объяснить полученные результаты.
- M.J. Williams, C. Wang, G. Lucovsky. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 219, 389 (1991)
- R. Fluckiger, J. Meier, M. Goetz, A. Shah. J. Appl. Phys., 77, 712 (1995)
- M. Bruggemann, A. Hierzenberger, R. Reining, M. Rojahn, M.B. Schubert, S. Schweizer, H.N. Wanka, I. Zrinscak. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 982 (1998)
- M. Bruggemann, C. Main. Phys. Rev. B, 57, R16080 (1998)
- W.E. Spear, H.L. Steemers, P.G. LeComber, R.A. Gibson. Phil. Mag. B, 50, L33 (1984)
- P. Kanschat, K. Lips, W. Fuhs. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 524 (2000)
- P. Kanschat, H. Mell, K. Lips, W. Fuhs. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 609, 463 (2000)
- F. Finger, J. Muller, C. Malten, R. Carius, H. Wagner. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 511 (2000)
- D. Ruff, H. Mell, L. Toth, I. Sieber, W. Fuhs. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 1011 (1998)
- А.Г. Казанский, Х. Мелл, Е.И. Теруков, П.А. Форш. ФТП, 34, 373 (2000)
- J.M. Essick, J.D. Cohen. Appl. Phys. Lett., 55, 1232 (1989)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.