Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Бесконтактный электронно-зондовый метод измерения диффузионной длины и времени жизни неосновных носителей в полупроводниках
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия 
Поступила в редакцию: 10 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2001 г.
Разработан и предложен новый метод бесконтактного измерения диффузионной длины и времени жизни неосновных носителей заряда в полупроводниковых кристаллах. Метод основан на детектировании поверхностного электронно-индуцированного потенциала полупроводников и его фазового сдвига в зависимости от координаты зондирования относительно барьеров. Приведены экспериментальные результаты определения электрофизических параметров полупроводников на примере кремниевых p-n-переходов.
- H.J. Leamy. J. Appl. Phys., 53, R51 (1982)
- Е.Б. Якимов. Изв. PАН. Сер. физ., 56 (3), 31 (1992)
- А.В. Гостев, Ю.С. Клейнфельд, Э.И. Рау, Г.В. Спивак. Микроэлектроника. 16 (4), 311 (1987)
- А.В. Гостев, Ш.Х. Молл, Э.И. Рау, Е.Б. Якимов. Изв. PАН. Сер. физ., 62 (3), 599 (1998)
- Э.И. Рау, Н.Н. Седов, Ху Веньго, Чжу Шичу. Поверхность, N 2, 4 (2000)
- E.I. Rau, Shiqiu Zhu, E.B. Yakimov. Inst. Phys. Conf. Ser., 164, 22 (1999)
- С.Г. Конников, О.В. Салата, В.Е. Уманский, В.М. Чистяков. Изв. АН СССР. Сер. физ., 54 (2), 284 (1990)
- Л.П. Павлов. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов (М., Высш. шк., 1987) гл. 4, с. 130
- D.E. Ioannou. J. Phys. D: Appl. Phys., 13 (4), 611 (1980)
- С.Г. Конников, В.Е. Уманский, В.М. Чистяков, И.И. Лодыженский. ФТП, 22 (10), 1803 (1988)
- T. Fuyuki, H. Matsunami. J. Appl. Phys., 52, 3428 (1981)
- M. Kittler, W. Seifert. Rev. Phys., Appliquee. Colloque C 6, 24 (1988)
- Semiconductor Material and Device Characterization, ed. by D.K. Schroder (J. Wiley, Sons Inc., 1998) p. 453
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
