"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Бесконтактный электронно-зондовый метод измерения диффузионной длины и времени жизни неосновных носителей в полупроводниках
Рау Э.И.1, Шичу Чжу1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 10 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2001 г.

Разработан и предложен новый метод бесконтактного измерения диффузионной длины и времени жизни неосновных носителей заряда в полупроводниковых кристаллах. Метод основан на детектировании поверхностного электронно-индуцированного потенциала полупроводников и его фазового сдвига в зависимости от координаты зондирования относительно барьеров. Приведены экспериментальные результаты определения электрофизических параметров полупроводников на примере кремниевых p-n-переходов.
  1. H.J. Leamy. J. Appl. Phys., 53, R51 (1982)
  2. Е.Б. Якимов. Изв. PАН. Сер. физ., 56 (3), 31 (1992)
  3. А.В. Гостев, Ю.С. Клейнфельд, Э.И. Рау, Г.В. Спивак. Микроэлектроника. 16 (4), 311 (1987)
  4. А.В. Гостев, Ш.Х. Молл, Э.И. Рау, Е.Б. Якимов. Изв. PАН. Сер. физ., 62 (3), 599 (1998)
  5. Э.И. Рау, Н.Н. Седов, Ху Веньго, Чжу Шичу. Поверхность, N 2, 4 (2000)
  6. E.I. Rau, Shiqiu Zhu, E.B. Yakimov. Inst. Phys. Conf. Ser., 164, 22 (1999)
  7. С.Г. Конников, О.В. Салата, В.Е. Уманский, В.М. Чистяков. Изв. АН СССР. Сер. физ., 54 (2), 284 (1990)
  8. Л.П. Павлов. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов (М., Высш. шк., 1987) гл. 4, с. 130
  9. D.E. Ioannou. J. Phys. D: Appl. Phys., 13 (4), 611 (1980)
  10. С.Г. Конников, В.Е. Уманский, В.М. Чистяков, И.И. Лодыженский. ФТП, 22 (10), 1803 (1988)
  11. T. Fuyuki, H. Matsunami. J. Appl. Phys., 52, 3428 (1981)
  12. M. Kittler, W. Seifert. Rev. Phys., Appliquee. Colloque C 6, 24 (1988)
  13. Semiconductor Material and Device Characterization, ed. by D.K. Schroder (J. Wiley, Sons Inc., 1998) p. 453

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.