"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Термодинамический анализ роста тройных соединений GaAsN методом молекулярно-пучковой эпитаксии
Одноблюдов В.А.1, Ковш А.Р.1, Жуков А.Е.1, Малеев Н.А.1, Семенова Е.С.1, Устинов В.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 октября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.

Представлена термодинамическая модель описания процессов роста тройных твердых растворов GaAsN. Модель позволяет предсказать содержание азота в слоях GaAsN в зависимости от внешних параметров (потоков молекулярного азота и мышьяка, скорости роста, температуры подложки). С помощью предложенной модели находят объяснение такие экспериментальные факты, как насыщение зависимости состава от внешнего потока азота, существование области постоянного состава в зависимости состава от температуры, а также уширение пика люминесценции по сравнению с идеальным случаем.
  • Р. Хекингботом. В кн.: Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры, под ред. Л. Ченга, К. Плога (М., Мир, 1989) с. 65
  • П.С. Копьев, Н.Н. Леденцов. ФТП, 22, 1729 (1988)
  • А.Ю. Егоров, А.Р. Ковш, А.Е. Жуков, В.М. Устинов, П.С. Копьев. ФТП, 31 (10), 1153 (1997)
  • V.M. Ustinov, A.E. Zhukov. Semicond. Sci. Technol., 15, R41 (2000)
  • B. Bochert, A.Yu. Egorov, S. Illek, H. Riechert. IEEE Photon. Technol. Lett., 12 (6), 597 (2000)
  • D.A. Livshits, A.Yu. Egorov, H. Riechert. Electron Lett., 36 (16), 2000
  • Z.Z. Bandic, R.J. Hauenstein, M.L. O'Steen, T.C. McGill. Appl. Phys. Lett., 68 (11), 1510 (1996)
  • Z. Pan, L.H. Li, W. Zhang, Y.W. Lin, R.H. Wu. Appl. Phys. Lett., 77 (2), 214 (2000)
  • Y. Qiu, S.A. Nikishin, H. Temkin, V.A. Elyukhin, Yu.A. Kudriavtsev. Appl. Phys. Lett., 70 (21), 2831 (1997)
  • A.S. Jordan, M. Ilegems. J. Phys. Chem. Sol., 36, 329 (1975)
  • T. Kitatani, M. Kondow, K. Nakahara, M.C. Larson, Y. Yazawa, M. Okai, K. Uomi. J. Cryst. Growth, 201/202, 351 (1999)
  • Б.В. Воловик, А.Р. Ковш, W. Passenberg, H.Kuenzel, Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов. Письма ЖТФ, 26 (10), 88 (2000)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.