Вышедшие номера
Колебательные "реакции" в термообрабатываемом кремнии с участием фоновых примесей кислорода и углерода
Лукьяница В.В.1
1Минский государственный медицинский институт (кафедра физики), Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 19 сентября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.

Представлены результаты исследования влияния температуры термообработки кремния (в интервале 750-1100oC продолжительностью 1 ч) на транспорт примесей кислорода и углерода между присутствующими в бездислокационных кристаллах n-Si примесно-дефектными скоплениями и матрицей кристалла. Выявленные немонотонные изменения концентраций кислорода и углерода в примесно-дефектных скоплениях интерпретированы как результат колебательных "реакций", проходящих в процессе аккомодации примесно-дефектных скоплений при изменении (увеличении) температуры кристалла. Оценены температурные границы таких колебательных "реакций".