Колебательные "реакции" в термообрабатываемом кремнии с участием фоновых примесей кислорода и углерода
Лукьяница В.В.1
1Минский государственный медицинский институт (кафедра физики), Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 19 сентября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.
Представлены результаты исследования влияния температуры термообработки кремния (в интервале 750-1100oC продолжительностью 1 ч) на транспорт примесей кислорода и углерода между присутствующими в бездислокационных кристаллах n-Si примесно-дефектными скоплениями и матрицей кристалла. Выявленные немонотонные изменения концентраций кислорода и углерода в примесно-дефектных скоплениях интерпретированы как результат колебательных "реакций", проходящих в процессе аккомодации примесно-дефектных скоплений при изменении (увеличении) температуры кристалла. Оценены температурные границы таких колебательных "реакций".
- В.В. Воронков, Г.И. Воронкова, Б.В. Зубов, В.П. Калинушкин, Е.А. Климанов, Т.М. Мурина, А.М. Прохоров. ФТП, 13, 846 (1979)
- Р.Ф. Витман, Н.А. Витовский, А.А. Лебедев, Т.В. Машовец, Л.В. Налбандян. ФТП, 24, 45 (1990)
- А.Н. Бузынин, С.Е. Заболотский, В.Н. Калинушкин, А.Е. Лукьянов, Т.М. Мурина, В.В. Осико, М.Г. Плоппа, В.М. Татаринцев, А.М. Эйдензон. ФТП, 24, 264 (1990)
- I.I. Kolkovskii, P.F. Lugakov, V.V. Lukjanitsa, V.V. Shusha. Phys. St. Sol. (a), 118, 65 (1990)
- В.В. Емцев, Г.А. Оганесян, К. Шмальц. ФТП, 27, 1549 (1993)
- И.И. Колковский, В.В. Лукьяница. ФТП, 31, 405 (1997)
- I.I. Kolkovskii, P.F. Lugakov, V.V. Shusha. Phys. St. Sol. (a), 127, 103 (1991)
- П.Ф. Лугаков, В.В. Лукьяница, Ю.М. Покатило. ФТП, 19, 2014 (1985)
- H.J. Stein, F.L. Vook. Phys. Rev., 163, 790 (1967)
- А.Г. Литвинко, Л.Ф. Макаренко, Л.И. Мурин, В.Д. Ткачев. ФТП, 14, 776 (1980)
- Н. Дрейпер, Г. Смит. Прикладной регрессионный анализ (М., Статистика, 1973)
- Д. Химмельблау. Прикладное нелинейное программирование (М., Мир, 1975)
- Д. Мак-Кракен, У. Дорн. Численные методы и програмирование на Фортране (М., Мир, 1977)
- М.И. Кривов, Е.А. Попова, Е.В. Малисова. Изв. вузов. Физика, 6, 156 (1973)
- В.Б. Неймаш, Т.Р. Саган, В.М. Цмоць, В.И. Шаховцов, В.Л. Шиндич. ФТП, 25, 1857 (1991)
- Д. Химмельблау. Анализ процесса статистическими методами (М., Мир, 1973)
- H.I. Horffman. Appl. Phys., 19, 307 (1979)
- Н.Г. Колин, П.Ф. Лугаков, В.В. Лукьяница, А.А. Стук. Изв. вузов. Физика, 33, 98 (1990)
- И.И. Колковский, П.Ф. Лугаков, В.В. Шуша. Изв. вузов. Физика, 31, 128 (1998)
- А.В. Васильев, С.А. Смагулова, С.С. Шаймеев. ФТП, 19, 952 (1985)
- И.В. Антонова, А. Мисюк, В.П. Попов, С.С. Шаймеев. ФТП, 31, 998 (1997)
- L.I. Murin. Phys. St. Sol. (a), 101, k107 (1987)
- П.В. Кучинский, В.М. Ломако, Л.Н. Шахлевич. ФТП, 22, 1213 (1988)
- В.М. Глазов, В.Б. Кольцов, В.З. Куцова, А.Р. Регель, Ю.Н. Таран, Г.Г. Тимошина, К.И. Узлов, Э.С. Фалькевич. ФТП, 25, 588 (1991)
- П.Ф. Лугаков, В.В. Лукьяница. ФТП, 26, 1509 (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук