"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование многослойных структур c InAs нанообъектами в кремниевой матрице методом трансмиссионной электронной микроскопии
Петров В.Н.1, Поляков Н.К.1, Егоров В.А.1, Цырлин Г.Э.1, Zakharov N.D.2, Werner P.2, Устинов В.М.3, Денисов Д.В.3, Леденцов Н.Н.3, Алферов Ж.И.3
1Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Max-Planck Institute of Microstructure Physics, Halle/Saale, Germany
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 января 2000 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2000 г.

Методом трансмиссионной электронной микроскопии высокого разрешения были исследованы многослойные структуры, содержащие встроенные в кремниевую кристаллическую матрицу слои InAs квантовых точек, выращенных методом молекулярно-пучковой эпитаксии. Выяснено, что свойства выращенной структуры сильно зависят от температуры подложки, последовательности ростовых циклов и толщин слоев. Выявлено, что кремниевая матрица может "принять" лишь ограниченный объем осажденного InAs в форме когерентных кластеров размерами порядка 3 нм и что при увеличении количества осажденного слоя InAs имеет место образование больших дислокационных кластеров InAs, накапливающих избыточный InAs во время заращивания кремнием.
  1. N.N. Ledentsov. Proc. 23th Int. Conf. Phys. Semiconductors, Berlin, 1996, ed. by M. Scheffler and R. Zimmermann (World Scientific, Singapoure, 1996) v.1, p. 19
  2. Г.Э. Цырлин, В.Н. Петров, В.Г. Дубровский, С.А. Масалов, А.О. Голубок, Н.И. Комяк, Н.Н. Леденцов, Ж.И. Алферов, Д. Бимберг. Письма ЖТФ, 24 (8), 10 (1998)
  3. G.E. Cirlin, V.G. Dubrovskii, V.N. Petrov, N.K. Polyakov, N.P. Korneeva, V.N. Demidov, A.O. Golubok, S.A. Masalov, D.V. Kurochkin, O. M. Gorbenko, N.I. Komyak, V.M. Ustinov, A.Yu. Egorov, A.R. Kovsh, M.V. Maximov, A.F. Tsatsul'nikov, B.V. Volovik, A.E. Zhukov, P.S. Kop'ev, Zh.I. Alferov, N.N. Ledentsov, M. Grundmann, D. Bimberg. Semicond. Sci. Technol., 13, 1262 (1998)
  4. Г.Э. Цырлин, В.Н. Петров, В.Г. Дубровский, Ю.Б. Самсоненко, Н.К. Поляков, А.О. Голубок, С.А. Масалов, Н.И. Комяк, В.М. Устинов, А.Ю. Егоров, А.Р. Ковш, М.В. Максимов, А.Ф. Цацульников, Б.В. Воловик, А.Е. Жуков, П.С. Копьев, Н.Н. Леденцов, Ж.И. Алферов, Д. Бимберг. ФТП, 33 (9), 1066 (1999)
  5. J. Tersoff, C. Teichert, M.G. Lagally. Phys. Rev. Lett., 76, 1675 (1996)
  6. N.N. Ledentsov, V.A. Shchukin, M. Grundmann, N. Kirstaedter, J. Bohrer, O. Schmidt, D. Bimberg, S.V. Zaitsev, V.M. Ustinov, A.E. Zhukov, P.S. Kop'ev, Zh.I. Alferov, O.A. Kosogov, S.S. Ruvimov, P. Werner, U. Gosele, J. Heydenreich. Phys. Rev. B, 54, 8743 (1996)
  7. Г.Э. Цырлин, В.Н. Петров, Н.К. Поляков, С.А. Масалов, А.О. Голубок, Д.В. Денисов, Ю.А. Кудрявцев, Б.Я. Бер, В.М. Устинов. ФТП, 33 (10), 1158 (1999)
  8. Г.М. Гурьянов, В.Н. Демидов, Н.П. Корнеева, В.Н. Петров, Ю.Б. Самсоненко, Г.Э. Цырлин. ЖТФ, 67 (8), 111 (1997)
  9. R. Kilaas. Proc. 45th Annual EMSA Meeting, ed. by G.W. Bailey (San-Francisco Press, San Francisco, 1987) p. 66
  10. Г.Э. Цырлин, В.Н. Петров, С.А. Масалов, А.О. Голубок. ФТП, 33 (6), 733 (1999)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.