"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Перераспределение атомов фосфора, имплантированных в сильно легированный бором кремний
Тишковский Е.Г.1, Ободников В.И.1, Таскин А.А.1, Феклистов К.В.1, Серяпин В.Г.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 7 декабря 1999 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2000 г.

Исследованы особенности перераспределения атомов фосфора, введенных имплантацией в пластины кремния с высокой исходной концентрацией бора NB=2.5· 1020 см-3. Показано, что предварительное легирование бором приводит к тому, что уширение концентрационных профилей фосфора в процессе отжига в интервале температур 900-1150oC в течение 1 ч существенно меньше, чем в слабо легированном кремнии. Результаты интерпретированы в терминах межпримесного взаимодействия с образованием неподвижных пар бор--фосфор. Оценена энергия связи комплексов бор--фосфор в кремнии, составившая 0.6--0.8 эВ.
  1. А.М. Мясников, В.И. Ободников, В.Г. Серяпин, Е.Г. Тишковский, Б.И. Фомин, Е.И. Черепов. Письма ЖЭТФ, 60, 96 (1994)
  2. А.М. Мясников, В.И. Ободников, В.Г. Серяпин, Е.Г. Тишковский, Б.И. Фомин, Е.И. Черепов. ФТП, 31, 338 (1997)
  3. А.М. Мясников, В.И. Ободников, В.Г. Серяпин, Е.Г. Тишковский, Б.И. Фомин, Е.И. Черепов. ФТП, 31, 703 (1997)
  4. В.И. Ободников, Е.Г. Тишковский. ФТП, 32, 417 (1998)
  5. B. Margesin, R. Canteri, S. Solmi, A. Armigliato, F. Baruffaldi. J. Mater. Res., 6, 2353 (1991)
  6. S. Solmi, S. Valmorri, R. Canteri. J. Appl. Phys., 77, 2400 (1995)
  7. F. Wittel, S. Dunham. Appl. Phys. Lett., 66, 11 (1995)
  8. А.А. Самарский. Теория разностных схем (М., Наука, 1983) гл. 3, с. 141
  9. C.P. Ho, J.D. Plummer, S.E. Hansen, R.W. Dutton. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-30, 1438 (1983)
  10. R.B. Fair, J.C.C. Tcai. J. Electrochem. Soc., 124, 1107 (1977)
  11. П.В. Ковтуненко. Физическая химия твердого тела. Кристаллы с дефектами (М., Высш. шк., 1993) гл. 1, с. 11

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.