"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование процесса распада упругонапряженной пленки германия на поверхности кремния
Закурдаев И.В.1, Байзер М.В.1, Садофьев С.Ю.1, Рзаев М.М.2
1Рязанская государственная радиотехническая академия, Рязань, Россия
2Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 29 ноября 1999 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.

Представлены результаты исследования начальной стадии процесса самоорганизации поверхности в гетероэпитаксиальной системе Ge / Si(001) от момента образования эшелонов ступеней до зарождения трехмерных неровностей. Выполнен расчет силы, вызывающей направленный дрейф адатомов германия, и, исходя из кинетических особенностей направленного массопереноса, сделана оценка минимально достижимых размеров островков.
  1. Ж.И. Алферов. ФТП, 32 (1), 3 (1998)
  2. Н.Н. Леденцов, В.М. Устинов, В.А. Щукин, П.С. Копьев, Ж.И. Алферов, Д. Бимберг. ФТП, 32 (4), 385 (1998)
  3. О.П. Пчеляков, Ю.Б. Болховитянов, Л.В. Соколов, А.И. Никифоров, Б. Фойхтлендер. Матер. совещ. "Нанофотоника" (Нижний Новгород, 1999) с. 15
  4. J. Tersoff, R.M. Tromp. Phys. Rev. Lett., 70, 2782 (1993)
  5. Я.Е. Гегузин, Ю.С. Кагановский. Диффузионные процессы на поверхности кристалла (М., Энергоатомиздат, 1984)
  6. В.И. Марченко, А.Я. Паршин. ЖЭТФ, 79 (1), 257 (1980)
  7. J. Tersoff, Y.H. Phang, Zhenyu Zhang, M.G. Lagally. Phys. Rev. Lett., 75, 2730 (1995)
  8. И.В. Закурдаев. Изв. АН СССР. Сер. физ., 40, N 8, 1554 (1976)
  9. Ю.Г. Садофьев, К.В. Малахов, М.М. Рзаев, М.В. Байзер, С.Ю. Садофьев, П.А. Трубенко. Матер. совещ. "Нанофотоника" (Нижний Новгород, 1999) с. 90
  10. И.В. Закурдаев, Г.Н. Шуппе. Процессы массопереноса и изменения структуры поверхности кристаллов (М., ЦНИИ "Электроника", 1983) ч. 2, вып. 11 (965), с. 64
  11. Справочник химика (М., Госхимиздат, 1963) т. 1, с. 1071
  12. Ч. Киттель. Введение в физику твердого тела (М., Наука, 1978)
  13. H. Tokumoto, K. Miki, Y. Morita, T. Sato, M. Iwatsuki, M. Suzuki, T. Fukuda. Ultramicroscopy, 42--44, 816 (1992)
  14. C. Teichert, Y.H. Phang, L.J. Peticolas, J.C. Bean, M.G. Laggaly. Surface Diffusion: Atomistic and Collective Processes, NATO-ASI Series (Plenum Press, N.-Y., 1997) p. 297
  15. О.П. Пчеляков, А.В. Двуреченский, В.А. Марков, А.И. Никифоров, А.И. Якимов. Матер. Всерос. совещ. "Наноструктуры на основе кремния и германия" (Нижний Новгород, 1998) с. 7
  16. V.A. Schukin, N.N. Ledentsov, P.S. Kop'ev, D. Bimberg. Phys. Rev. Lett., 75 (16), 2968 (1995)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.