"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Эпитаксиальные пленки 6H-SiC как детекторы ядерных частиц
Лебедев А.А.1, Савкина Н.С.1, Иванов А.М.1, Строкан Н.Б.1, Давыдов Д.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 августа 1999 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.

Диоды Шоттки на основе n-n+-эпитаксиальных слоев 6H-SiC, полученных методом сублимационной эпитаксии, а также слоев, коммерчески выпускаемых компанией CREE (США), использовались для регистрации alpha-частиц естественного распада. Поскольку толщина n-пленок была меньше пробега частиц, геометрия опыта отличалась от традиционной с полным торможением частицы в области электрического поля детектора. Путем сопоставления расчетных и экспериментальных данных изучались особенности переноса неравновесного заряда в режимах полного и частичного обеднения структуры. Показано, как из анализа поведения амплитуды сигнала и формы амплитудного спектра в зависимости от смещения на диоде Шоттки можно извлечь значения характеристик материала, определяющих перенос носителей. Из результатов следует, что получаемые в настоящее время сублимационные слои SiC пригодны для создания на их основе детекторов ядерных частиц.
  1. R.V. Babcock, H.C. Chang. Neutron dosimetry (Vienna, 1963) v. 1, p. 613
  2. P.C. Canepa, P. Malinaric, R.B. Campbell, J. Ostroski. IEEE Trans., NS-11(3), 262 (1964)
  3. N.S. Savkina, A.A. Lebedev, D.V. Davydov, A.M. Strelchuk, A.S. Tregubova. M.A. Yagodkina. Abstr. Int. Conf. on SiC (Montpellier, France, 1998) p. 135
  4. Ion Implantation. Science and Technology, ed. by J.F. Ziegler (Acad. Press. Inc., 1984) p. 635
  5. R.A. Logan, A.G. Chynoweth. J. Appl. Phys., 33(5), 1649 (1962)
  6. В.В. Макаров. ФТП, 9(6), 1098 (1975)
  7. И.Н. Ильяшенко, Н.Б. Строкан. ФТП, 30(2), 302 (1996)
  8. Н.Б. Строкан. Письма ЖТФ, 24(5), 44 (1998)
  9. В.К. Еремин, С.Г. Даненгирш, Н.Б. Строкан, Н.И. Тиснек. ФТП, 8(3), 556 (1974)
  10. C. Canali, M. Martini, G. Ottaviani, A. Alberigi Quaranta. IEEE Trans., NS-19(4), 9 (1972)
  11. R.D. Ryan. Nucl. Instr. Meth., 120(1), 201 (1974)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.