Перераспределение гольмия при твердофазной эпитаксиальной кристаллизации аморфизованных слоев кремния
Александров О.В.1, Николаев Ю.А., Соболев Н.А.
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет, Санкт-Петербург, Россия Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 3 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1999 г.
Исследовались концентрационные профили Ho после отжига при температуре 620oC слоев кремния, имплантированных ионами Ho+ с энергией 1 МэВ и дозами (1-3)·1014 см-2, превышающими порог аморфизации, а также ионами O+ с энергиями, обеспечивающими совпадение максимумов концентраций, и дозами, на порядок большими, чем у Ho+. Перекристаллизация аморфизованного слоя кремния происходит по механизму твердофазной эпитаксии. Показано, что закономерности сегрегационного перераспределения примеси Ho аналогичны ранее изученным закономерностям перераспределения примеси Er. Уменьшение концентрации Ho на начальном этапе твердофазной эпитаксиальной кристаллизации объясняется малой скоростью массопереноса примеси через межфазную границу аморфный слой-монокристалл. Получено аналитическое выражение, описывающее изменение коэффициента сегрегации в процессе твердофазной эпитаксиальной кристаллизации, включая его начальный этап, позволяющее рассчитывать концентрационные профили редкоземельных элементов.
- D. Moutonnet, H. L'Haridon, P.N. Favennec, M. Salvi, M. Gauneau, F.A. D'Avitaya, J. Chroboczek. Mater. Sci. Eng. B, 4, 75 (1989)
- W.P. Gillin, Z. Jingping, B.J. Sealy. Sol. St. Commun., 77, 907 (1991)
- J.S. Custer, A. Polman, H.M. Pinxteren. J. Appl. Phys., 75, 2809 (1994)
- О.В. Александров, Ю.В. Николаев, Н.Н. Соболев. ФТП, 33, 114 (1999)
- О.В. Александров, Ю.В. Николаев, Н.Н. Соболев. ФТП, 32, 1420 (1998)
- О.В. Александров, Ю.В. Николаев, Н.Н. Соболев, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, Ю.А. Кудрявцев. ФТП, 33, 652 (1999)
- E.F. Kennedy, L. Csepregi, J.M. Mayer. J. Appl. Phys., 48, 4241 (1977)
- D.A. Antoniadis, M. Rodoni, R.W. Dutton. J. Electrochem. Soc., 126, 1939 (1979)
- В.И. Кольдяев, В.А. Мороз, С.А. Назаров. Автометрия, N 3, 46 (1988)
- О.В. Александров, Н.Н. Афонин. ФТП, 32, 19 (1998)
- S. Roorda, J.S. Custer, W.C. Sinke, J.M. Poate, D.C. Jacobson, A. Polman, F. Spaepen. Nucl. Instr. Meth. B, 59/60, 344 (1991)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук