"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние отжига на оптические и структурные свойства GaN : Er
Соболев Н.А.1, Емельянов А.М.2, Лундин В.В.1, Сахаров В.И.1, Серенков И.Т.1, Усиков А.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный технический университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 января 1999 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.

Исследовано влияние отжига на оптические и структурные свойства слоев нитрида галлия, выращенных методом газофазного осаждения из металлоорганических соединений и имплантированных ионами эрбия с энергиями 0.8--2.0 МэВ и дозами (1-4)· 1014 см-2. В некоторые образцы проводилась дополнительная имплантация ионов кислорода с энергиями 0.11--0.28 МэВ и дозами (1-4)· 1015 см-2. Методом обратного резерфордовского рассеяния протонов показано, что при исследованных дозах имплантации ионов эрбия не происходит аморфизации слоев нитрида галлия. Формирование эрбиевых люминесцентных центров, излучающих на длине волны 1.54 мкм, в процессе постимплантационного отжига в диапазоне температур 700-1300oC заканчивается раньше, чем восстанавливается дефектная структура имплантированных слоев.
  1. J. Michel, J.L. Benton, R.F. Ferrante, D.C. Jacobson, D.J. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys., 70, 2672 (1991)
  2. В.Ю. Давыдов. В.В. Лундин, А.Н. Смирнов, Н.А. Соболев, А.С. Усиков, А.М. Емельянов, М.И. Маковийчук, Е.О. Паршин. ФТП, 33, 3 (1999)
  3. E. Silkowski, Y.K. Yeo, R.L. Hengehold, B. Goldenberg, G.S. Pomrenke. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 422, 69 (1996)
  4. S. Kim, S.J. Rhee, D.A. Turnbull, E.E. Reuter, X. Li, J.J. Coleman, S.G. Bishop. Appl. Phys. Lett., 71, 231 (1997)
  5. E. Bogh. Canad. J. of Phys., 46, 653 (1968)
  6. Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, И.С. Ташлыков. Неразрушающий анализ поверхностей твердых тел ионными пучками (Минск, Изд-во БГУ, 1987) с. 108
  7. Р.Н. Кютт, Н.А. Соболев. ФТТ, 39, 853 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.