Влияние термического отжига на интенсивность полосы фотолюминесценции 1.54 мкм в легированном эрбием гидрогенизированном аморфном кремнии
Андреев А.А.1, Воронков В.Б.1, Голубев В.Г.1, Медведев А.В.1, Певцов А.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1998 г.
Легированные эрбием пленки a-Si : H получены магнетронным распылением мишени Si-Er при температуре осаждения 200oC. Затем проведен кумулятивный термический отжиг. После отжига при 300oC в течение 15 мин в атмосфере азота обнаружено резкое возрастание (в ~50 раз) интенсивности фотолюминесценции на длине волны 1.54 мкм. При температуре отжига <=500oC сигнал фотолюминесценции спадал практически до нуля. Влияние процессов термического отжига обсуждается в рамках модели частичной перестройки структурной сетки аморфных пленок a-Si(Er) : H.
- Rare Earth Doped Semiconductor II, ed by S. Coffa, A. Polman, and R.N. Schwartz [Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 422, 1(Pittsburgh, DA, 1996)]
- A. Polman. J. Appl. Phys., 82, 1 (1997)
- Н.А. Соболев. ФТП, 29, 1153 (1995)
- M.S. Bresler, O.B. Gusev, V.Kh. Kudoyarova, A.N. Kuznetsov, P.E.Pak, E.I. Terukov, I.N. Yassievich, B.P. Zaharchenya. Appl. Phys. Lett., 67, 3599 (1995)
- Е.И. Теруков, В.Х. Кудоярова, М.М. Мездрогина, В.Г. Голубев. ФТП, 30, 820 (1996)
- J.H. Shin, R. Serna, G.N. Hoven, A. Polman, W.G.J.H.M. Sark, A.M. Vredenberg. Appl. Phys. Lett. 68, 997 (1996)
- A.R. Zanatta, L.A.O. Nunes. Appl. Phys. Lett., 70, 511 (1997)
- A.R. Zanatta, L.A.O. Nunes. Appl. Phys. Lett., 71, 3679 (1997)
- В.Б. Воронков, В.Г. Голубев, Н.И. Горшков, А.В. Медведев, А.Б. Певцов, Д.Н. Суглобов, Н.А. Феоктистов. Письма ЖТФ, 24, вып. 13, 8 (1998)
- В.Б. Воронков, В.Г. Голубев, Н.И. Горшков, А.В. Медведев, А.Б. Певцов, Д.Н. Суглобов, Н.А. Феоктистов. ФТТ, 40, 1433 (1998).
- W. Beyer. In: Tetrahedally--Bonded Amorphous Semiconductors, ed. by D. Adler and H. Fritzsche (Plenum Press, N.Y., 1985) p. 129
- W.B. Jackson, S.B. Zhang. In: Transport, Correlation and Structural Defects, ed by H. Fritzsche (World Scientific Publishing Company, Singapore, 1990) p. 63.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.