Вышедшие номера
Долговременные структурные релаксации и фотоиндуцированная деградация в a-Si : H
Коугия К.В.1, Певцов А.Б.2
1Санкт-Петербургская государственная педиатрическая медицинская академия, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 20 января 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1998 г.

Проведено исследование влияния циклов прогрев-засветка на электрофизические свойства аморфного кремния, полученного ВЧ разложением силана. На основе сравнения экспериментальных и теоретических результатов сделан вывод о том, что фотоиндуцированная деградация a-Si : H (эффект Стаблера-Вронского) может быть связана с долговременными релаксациями структурных образований, вызванных предварительным отжигом материала.