"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Электрические свойства кремния, термообработанного при 530oC и облученного электронами
Неймаш В.Б.1, Сирацкий В.М.1, Крайчинский А.Н.1, Пузенко Е.А.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 16 декабря 1997 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1998 г.

Методами емкостной спектроскопии глубоких уровней и эффекта Холла исследовано влияние термообработки при 530oC и последующего электронного облучения на электрические параметры монокристаллического кремния. Определено, что температура 530oC соответствует минимальной эффективности генерации кислородсодержащих термодоноров в интервале 500/600oC. Показано, что термодефекты, образующиеся при 530oC (КТД-530), не влияют на образование основных типов вторичных радиационных дефектов при последующем электронном облучении. Установлено, что спектр уровней КТД-530 имеет сложный характер, изменяющийся с длительностью термообработки. Определены их основные характеристики. Аномально малое сечение захвата электронов на КТД-530 и отсутствие взаимодействия кислородсодержащих термодоноров с первичными радиационными дефектами объясняется эффектом экранирования их взаимодействия с подвижными зарядами вследствие неоднородного пространственного распределения кислородсодержащих термодоноров. Оценена локальная концентрация кислородсодержащих термодоноров в микронеоднородностях: 1017/1019 см-3.
  1. A. Bourett. Proc. 13-=SUP=-th-=/SUP=- Int. Conf. on Defects in Semicond., ed. by L.C. Kimerling, J.M. Parsey, Jr. Warendale (1985); Warendale. Metallurg. Soc. AIME (1985) p. 129
  2. P. Wagner, J. Hage. Appl. Phys. A, A49, 123 (1989)
  3. В.М. Бабич, Н.П. Баран, Ю.П. Доценко, Л.Т. Зотов, В.Б. Ковальчук. ФТП, 26, 447 (1992)
  4. K. Schmalz, P. Gaworzewski. Phys. St. Sol. (a), 64, 151 (1981)
  5. Л.С. Берман, А.А. Лебедев. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках (М., Наука, 1991)
  6. Ж. Бургуэн, М. Ланно. Точечные дефекты в полупроводниках (М., Мир, 1985)
  7. В.И. Абакумов, В.И. Перель, И.Н. Ясиевич. ФТП, 12, 3 (1978)
  8. В.Б. Неймаш, Т.Р. Саган, В.М. Цмоць, В.И. Шаховцов, В.Л. Шиндич, В.С. Штым. Укр. физ. журн., 37, 437 (1992)
  9. А.Н. Кабалдин, В.Б. Неймаш, В.М. Цмоць, А.В. Батунина, В.В. Воронков, Г.И. Воронкова, В.П. Калинушкин. Укр. физ. журн., 38, 34 (1993)
  10. В.Б. Неймаш, Т.Р. Саган, В.М. Цмоць, В.И. Шаховцов, В.Л. Шиндич. ФТП, 25, 1857 (1991)
  11. А.Н. Кабалдин, В.Б. Неймаш, В.М. Цмоць, В.И. Шаховцов, В.С. Штым. Укр. физ. журн., 40, 218 (1995)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.