Вышедшие номера
Влияние отжига в атмосфере атомарного водорода на свойства пленок аморфного гидрированного кремния и параметры p-i-n-структур на их основе
Мездрогина М.М.1, Абрамов А.В.1, Мосина Г.Н.1, Трапезникова И.Н.1, Пацекин А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 июня 1997 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1998 г.

Уменьшение концентрации оборванных кремний-кремниевых связей в пленках a-Si : H в результате отжига в атмосфере атомарного водорода определяется концентрацией их в исходной (неотожженной) пленке. Изменение суммарной концентрации водорода в пленках a-Si : H, подвергнутых отжигу в атмосфере атомарного водорода, определяется типом кремний-водородных связей, содержанием примесей: при наличиии моногидридных связей (2020 см-1) возможно уменьшение содержания водорода до 1 at.%, при наличии кислорода (=<sssim0.1 at.%) изменения содержания водорода не наблюдается. Уменьшение концентрации дефектов в результате отжига в атмосфере атомарного водорода наблюдается для всех пленок. Эффект Стаблера-Вронского - облучение светом АМ-1 в течение 10 ч наблюдается для всех пленок вне зависимости от суммарной концентрации водорода, типа кремний-водородных связей, наличия кислорода.