Вышедшие номера
Эффект Стаблера--Вронского в зависимости от положения уровня Ферми и структуры нелегированного аморфного гидрированного кремния
Голикова О.А.1, Казанин М.М.1, Кудоярова В.Х.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 7 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1998 г.

Проведены исследования скорости деградации фотопроводимости gamma (sigmaph~ t-gamma) пленок нелегированного аморфного гидрированного кремния, осажденных при Ts=300-400oC и подвергнутых засветке в течение 5 ч при 300 K (источник света 100 мВт/см2, lambda<0.9 мкм). Показано, что скорость деградации gamma зависит от положения уровня Ферми (varepsilonc-varepsilonF) до засветки и часто напрямую не связана с содержанием водорода в пленке. Установлены корреляции между величиной gamma и связями в кремний-водородной подсистеме (изолированные комплексы SiH и SiH2, кластеры (SiH)n, цепочки (SiH2)n).