"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Неравновесная сегрегация фосфора в системе диоксид кремния--кремний
Александров О.В., Афонин Н.Н.
Поступила в редакцию: 5 мая 1997 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1997 г.

Разработана модель диффузионно-сегрегационного перераспределения примеси в системе SiO2--Si при термическом окислении кремния, учитывающая неравновесный характер сегрегации на движущейся межфазной границе. Путем численного анализа эксперименатльных данных определены величина и температурная зависимость коэффициента массопереноса фосфора на межфазной границе SiO2--Si.
  1. R.B. Fair. In: "Impurity doping process in silicon", ed. by F.F.Y. Wang (N.Y., North Holland Publishing Co, 1981) p. 315.
  2. D.A. Antoniadis, M. Rodoni, R.W. Dutton. J. Electrochem. Soc., 126, 1939 (1979)
  3. О.В. Александров, Н.Н. Афонин. Изв. вузов. Физика, N 12, 97 (1990)
  4. K. Yagi, K. Oyu, M. Tamura, T. Tokuyama. Appl. Phys. Lett., 35, 275 (1979)
  5. И.П. Базаров. Термодинамика (М., Высш. шк., 1983), с. 179
  6. А.В. Колосовский. Обзоры по электрон. техн. Сер. Полупроводниковые приборы (М., 1971) вып. 6(288)
  7. А.А. Самарский. Теория разностных схем (М., Наука, 1977)
  8. А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин. Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах (М., Энергоиздат, 1985)
  9. C.P. Ho, J.D. Plummer, S.E. Hansen, R.W. Dutton. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-30, 1438 (1983)
  10. О.В. Александров, Н.В. Ашкинадзе, Р.З. Тумаров. ФТТ, 26, 632 (1984)
  11. E.A. Taft. J. Electrochem. Soc., 136, 3476 (1989)
  12. C.P. Ho, J.D. Plummer, J.D. Meindl, B.E. Deal. J. Electrochem. Soc., 125, 813 (1978)
  13. K. Sakamoto, K. Nishi, F. Ichikawa, S. Ushio. J. Appl. Phys., 61, 1553 (1987)
  14. О.В. Александров, Н.Н. Афонин. ФТП, 30, 1570 (1996)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.