"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Инфракрасное поглощение в пористом кремнии, полученном в электролитах, содержащих этанол
Копылов А.А.1, Холодилов А.Н.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 мая 1996 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1997 г.

Исследовано влияние обработок в плавиковой кислоте и отжига при T=350 oC на оптические свойства пористого кремния в инфракрасной области спектра. Дана интерпретация наблюдавшихся полос поглощения. Получена оценка коэффициента преломления и толщины пористого слоя.
  1. C. Tsai, K.-H. Li, J. Sarathy, S. Shih, J.C. Campbell. Appl. Phys. Lett., 59, 2814 (1991)
  2. M.A. Tischler, R.T. Collins, J.H. Stathis, J.C. Tsang. Appl. Phys. Lett., 60, 639 (1992)
  3. N. Ookubo, H. Ono, Y. Ochiai, Y. Mochizuki, S. Matsui. Appl. Phys. Lett., 61, 940 (1992)
  4. R. Kumar, Y. Kiton, K. Hara. Appl. Phys. Lett., 63, 3032 (1993)
  5. H.D. Fuchs, M. Stutzmann, M.S. Brandt, M. Rosenbauer, J. Weber, A. Breischwerdt, P. Deak, M. Cardona. Phys. Rev. B, 48, 8172 (1993)
  6. A.C. Adams, F.B. Alexander, C.D. Capio, T.E. Smith. J. Electrochem. Soc., 128, 1545 (1981)
  7. И.Ф. Ковалев, Л.А. Озолин, М.Г. Воронков, Л.А. Жагат. Оптика и спектроскопия. Сб. ст., III Молекулярная спектроскопия (Л., Наука, 1987) с. 301
  8. S.P. Mukherjee, P.E. Evans. Thin Sol. Films, 14, 105 (1972)
  9. Л. Литтл. Инфракрасные спектры адсорбированных молекул (М., Мир, 1969)
  10. А.В. Киселев, В.И. Лыгин. Инфракрасные спектры поверхностных и адсорбированных веществ (М., Наука, 1972)
  11. F. Kozlowski, W. Lang. J. Appl. Phys., 72, 5401 (1992)
  12. G.W.'t Hooft, Y.A.R.R. Kessener, G.L.J.A. Rikken, A.H.J. Venhuizen. Appl. Phys. Lett., 61, 2344 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.