Инфракрасное поглощение в пористом кремнии, полученном в электролитах, содержащих этанол
Копылов А.А.1, Холодилов А.Н.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 мая 1996 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1997 г.
Исследовано влияние обработок в плавиковой кислоте и отжига при T=350 oC на оптические свойства пористого кремния в инфракрасной области спектра. Дана интерпретация наблюдавшихся полос поглощения. Получена оценка коэффициента преломления и толщины пористого слоя.
- C. Tsai, K.-H. Li, J. Sarathy, S. Shih, J.C. Campbell. Appl. Phys. Lett., 59, 2814 (1991)
- M.A. Tischler, R.T. Collins, J.H. Stathis, J.C. Tsang. Appl. Phys. Lett., 60, 639 (1992)
- N. Ookubo, H. Ono, Y. Ochiai, Y. Mochizuki, S. Matsui. Appl. Phys. Lett., 61, 940 (1992)
- R. Kumar, Y. Kiton, K. Hara. Appl. Phys. Lett., 63, 3032 (1993)
- H.D. Fuchs, M. Stutzmann, M.S. Brandt, M. Rosenbauer, J. Weber, A. Breischwerdt, P. Deak, M. Cardona. Phys. Rev. B, 48, 8172 (1993)
- A.C. Adams, F.B. Alexander, C.D. Capio, T.E. Smith. J. Electrochem. Soc., 128, 1545 (1981)
- И.Ф. Ковалев, Л.А. Озолин, М.Г. Воронков, Л.А. Жагат. Оптика и спектроскопия. Сб. ст., III Молекулярная спектроскопия (Л., Наука, 1987) с. 301
- S.P. Mukherjee, P.E. Evans. Thin Sol. Films, 14, 105 (1972)
- Л. Литтл. Инфракрасные спектры адсорбированных молекул (М., Мир, 1969)
- А.В. Киселев, В.И. Лыгин. Инфракрасные спектры поверхностных и адсорбированных веществ (М., Наука, 1972)
- F. Kozlowski, W. Lang. J. Appl. Phys., 72, 5401 (1992)
- G.W.'t Hooft, Y.A.R.R. Kessener, G.L.J.A. Rikken, A.H.J. Venhuizen. Appl. Phys. Lett., 61, 2344 (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
