"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Эффекты зарядовой нестабильности в системе карбид кремния--диэлектрик
Карачинов В.А.1
1Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого, Великий Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 14 декабря 1995 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1996 г.

Методами неразрушающего контроля по шумовым характеристикам, фольт-фарадных характеристик исследовано влияние лазерного излучения на электрическую прочность и характеристики границы раздела системы карбид кремния--диэлектрик. Выявлены эффекты управления фиксированным зарядом в слое диэлектрика и изменения распределения плотности поверхностных состояний. Обсуждаются возможные механизмы наблюдаемых явлений.
  1. А.В. Марсанов. Итоги науки и техники. Электроника, 13, 73 (1981)
  2. А.Г. Григорьянц. Основы лазерной обработки материалов (М., Машиностроение, 1989)
  3. I. Lundstrom. Phys. Sor., 18, 424 (1989)
  4. В.А. Карачинов. Тез. докл. межд. сем. "Полупроводниковый карбид кремния и приборы на его основе" (Новгород, 1995) с. 72
  5. Э.Е. Виолин, О.Н. Воронько, Ф. Нойберт, Е.Н. Потапов. ФТП, 18, 954 (1984)
  6. П.А. Иванов, В.Н. Пантелеев, Т.П. Самсонова, В.Е. Челноков. ФТП, 29, 271 (1995)
  7. Л.П. Карба, Л.Н. Крутяков. Электрон. техн., Сер. 8, 3, 68 (1978)
  8. В.М. Колешко, Г.Д. Каплан. Обзоры по электрон. техн. Сер. 3. Микроэлектроника, 2, 79 (1977)
  9. R.W. Kee, K.M. Geib, C.W. Wilmsen. J. Vac. Sci. Techn., 15, 1520 (1978)
  10. A. Suzuki, H. Matsuami, T. Tanaka. J. Electrochem. Soc., 125, 1896 (1978)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.