"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Немонотонный характер дозовой зависимости электрических свойств и химической стойкости азотированного ионной имплантацией кремния
Лобанова Н.Е., Павлов П.В., Тетельбаум Д.И., Потапова Л.В.
Выставление онлайн: 19 ноября 1989 г.

Исследованы свойства слоев кремния, амортизированного имплантацией ионов азота в интервале доз 1015/1017 см-2 с энергией, равной 40 кэВ, и подвергнутого термическому отжигу при температурах 400-1000oС. Показано, что дозовые зависимости термостойкости, плотности поверхностного заряда Qss и тангенса угла диэлектрических потерь tgdelta, а также скорости травления vтр в 48%-м растворе HF носят немонотонный (экстремальный) характер. По ряду свойств существует оптимальная доза Phi~5·1016 см-2, при которой наблюдаются максимальная термостойкость и минимальные значения Qss, tgdelta и vтр. Немонотонность свойств слоев связывается с образованием преципитатов фазы SixNy.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.