"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности отжига дивакансии в кремнии, содержащем разупорядоченные области
Антонова И.В., Васильев А.В., Панов В.И., Шаймеев С.С.
Выставление онлайн: 20 мая 1989 г.

Проведено детальное исследование характера отжига дивакансий в кремнии n-типа, облученном нейтронами. Подробный анализ данных DLTS экспериментов доказал, что отжит происходит в две стадии. Высокотемпературная стадия (300/350oС, анергия активации Ea=1.5 эВ) связана с отжигом дивакансий в матрице кристалла. Низкотемпературная стадия (100/200oС, Ea=1.0 эВ) обусловлена подходом дефектов междоузельного типа к дивакансиям, локализованным в ядре РО.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.