Рассмотрены пределы применимости классического метода, основанного на измерениях температурной зависимости коэффициента Холла, для определения концентраций мелких остаточных примесей в легированных слабо компенсированных полупроводниках. Установлены требования к точности измерений. Показано, что сочетание равновесных и неравновесных (с ИК подсветкой) измерений позволяет просто и с приемлемой точностью определять концентрации компенсирующих и сопутствующих примесей.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.