"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Легирование кремния селеном методом диффузии из газовой фазы
Астров Ю.А.1, Шуман В.Б.1, Порцель Л.М.1, Лодыгин А.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2014 г.

Изучался результат легирования селеном монокристаллов кремния при введении примеси методом диффузии из газовой фазы. Легирование проводилось в отпаянных кварцевых ампулах при температуре 1240oC в течение 240 ч. Исследована зависимость концентрации вводимых глубоких донорных центров различного типа от давления пара диффузанта pSe. Найдено, что при относительно малых pSe (0.02-0.06 атм) можно получать образцы с концентрацией атомарных центров Se, превышающей 1015 см-3. При этом содержание двухатомных комплексов Se2 будет меньше на порядок и более величины. Полученные результаты могут представлять интерес в задачах исследования нелинейных оптических явлений с участием глубоких донорных центров в кремнии.
  • S.G. Pavlov, R.Kh. Zhukavin, V.N. Shastin, H.-W. Hubers. Phys. Status Solidi B, 250, 9 (2013)
  • P.T. Greenland, S.A. Lynch, A.F.G. van der Meer, B.N. Murdin, C.R. Pidgeon, B. Redlich, N.Q. Vinh, G. Aeppli. Nature, 465, 1057 (2010)
  • N. Sclar. Infr. Phys., 16, 435 (1976)
  • P. Wagner, C. Holm, E. Sirt, R. Oeder, W. Zulehner. Chalcogens as point defects in silicon [Advances in Sol. St. Phys.], ed. by P. Grosse (Friedr. Vieweg \& Sohn, Braunschweig) 3, 191 (1984)
  • E. Janzen, R. Stedman, G. Grossmann, H.G. Grimmeiss. Phys. Rev. B, 29, 1907 (1984)
  • H.G. Grimmeiss, E. Janzen, B. Skarstam. J. Appl. Phys., 51, 3740 (1980)
  • M. Steger, A. Yang, M.L.W. Thewalt, M. Cardona, H. Riemann, N.V. Abrosimov, M.F. Churbanov, A.V. Gusev, A.D. Bulanov, I.D. Kovalev, A.K. Kaliteevskii, O.N. Godisov, P. Becker, H.-J. Pohl, E.E. Haller, J.W. Ager, III. Phys. Rev. B, 80, 115 204 (2009)
  • А.А. Таскин, Е.Г. Тишковский. ФТП, 36, 641 (2002)
  • Yu.A. Astrov, L.M. Portsel, A.N. Lodygin, V.B. Shuman. Semicond. Sci. Technol., 26, 055 021 (2011)
  • Ю.А. Астров, S.A. Lynch, В.Б. Шуман, Л.М. Порцель, А.А. Махова, А.Н. Лодыгин. ФТП, 47, 211 (2013)
  • Ю.А. Астров, В.Б. Шуман, А.Н. Лодыгин, Л.М. Порцель, А.Н. Махова. ФТП, 42, 457 (2008)
  • Yu.A. Astrov, L.M. Portsel, A.N. Lodygin, V.B. Shuman. J. Appl. Phys., 103, 114 512 (2008)
  • D.C. Look. Phys. Rev. B, 24, 5852 (1981)
  • А.А. Таскин, Е.Г. Тишковский. ФТП, 32, 1306 (1998)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.