Вышедшие номера
Эволюция структурно-морфологических свойств при отжиге многослойной нанопериодической системы SiOx/ZrO2, содержащей нанокластеры кремния
Ершов А.В.1, Павлов Д.А.1, Грачев Д.А.1, Бобров А.И.1, Карабанова И.А.1, Чугров И.А.1, Тетельбаум Д.И.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 12 марта 2013 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2013 г.

Методом просвечивающей электронной микроскопии поперечного среза исследованы структурно-морфологические свойства нанопериодических структур, полученных поочередным испарением в вакууме SiO и ZrO2 с последующим отжигом при температурах 500-1100oC. До 700oC включительно слои были аморфными. При 900 и 1000oC в слоях ZrO2 образовывались нанокристаллы, разделенные двойниковыми границами либо аморфными областями. Формирование нанокристаллов кремния в слоях SiOx происходит после отжигов при 1000 и 1100oC. При 1100oC на местах слоев ZrO2 формируются сферические нанокристаллы типа SixZryOz с диаметрами, превышающими толщину исходных слоев, вследствие реакции между SiOx и ZrO2. Структурная эволюция при отжигах согласуется с рассмотренным ранее поведением оптических и люминесцентных свойств системы.