"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Эволюция структурно-морфологических свойств при отжиге многослойной нанопериодической системы SiOx/ZrO2, содержащей нанокластеры кремния
Ершов А.В.1, Павлов Д.А.1, Грачев Д.А.1, Бобров А.И.1, Карабанова И.А.1, Чугров И.А.1, Тетельбаум Д.И.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 12 марта 2013 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2013 г.

Методом просвечивающей электронной микроскопии поперечного среза исследованы структурно-морфологические свойства нанопериодических структур, полученных поочередным испарением в вакууме SiO и ZrO2 с последующим отжигом при температурах 500-1100oC. До 700oC включительно слои были аморфными. При 900 и 1000oC в слоях ZrO2 образовывались нанокристаллы, разделенные двойниковыми границами либо аморфными областями. Формирование нанокристаллов кремния в слоях SiOx происходит после отжигов при 1000 и 1100oC. При 1100oC на местах слоев ZrO2 формируются сферические нанокристаллы типа SixZryOz с диаметрами, превышающими толщину исходных слоев, вследствие реакции между SiOx и ZrO2. Структурная эволюция при отжигах согласуется с рассмотренным ранее поведением оптических и люминесцентных свойств системы.
  • А.А. Ищенко, Г.В. Фетисов, Л.А. Асланов. Нанокремний: свойства, получение, применение, методы исследования и контроля (М., Физматлит, 2011)
  • L. Khriachtchev. Silicon nanophotonics, Basic Principles, Present Status and Perspectives (Singapore, World Scientific Publ.Co. Pte. Ltd., 2009)
  • O. Fursenko, J. Bauer, G. Lupina, P. Dudek, M. Lukosius, Ch. Wenger, P. Zaumseil. Thin Sol. Films, 520, 4532 (2012)
  • А.В. Ершов, Д.И. Тетельбаум, И.А. Чугров, А.И. Машин, А.Н. Михайлов, А.В. Нежданов, А.А. Ершов, И.А. Карабанова. ФТП, 45 (6), 747 (2011)
  • H. Choi, M. Chang, M. Jo, S.-J. Jung, H. Hwang. Electrochem. Sol. St. Lett., 11 (6), H154 (2008)
  • E. Talbot, M. Roussel, C. Genevois, P. Pareige, L. Khomenkova, X. Portier, F. Gourbilleau. J. Appl. Phys., 111 (10), 103 519 (2012)
  • M. Zacharias, J. Heitmann, R. Scholz, U. Kahler, M. Schmidt, J. Blasing. Appl. Phys. Lett., 80 (4), 661 (2002)
  • А.В. Ершов, И.А. Чугров, Д.И. Тетельбаум. А.И. Машин, Д.А. Павлов, А.В. Нежданов, А.И. Бобров, Д.А. Грачев. ФТП, 47 (4), 460 (2013)
  • R.J. Walters, R. van Loon, A. Polman, I. Brunets, G. Piccolo, J. Schmitz. Proc. 5th IEEE Int. Conf. on Group IV Photonics (Sorrento, Italy, 2008) p. 41
  • L.X. Yi, J. Heitmann, R. Scholz, M. Zacharias. Appl. Phys. Lett., 81 (22), 4248 (2002)
  • Precision Ion Polishing System: User's Guide (Gatan Inc., 1998)
  • Gwyddion --- Free SPM (AFM, SNOM/NSOM, STM, MFM,...) data analysis software: [сайт]. URL: http://gwyddion.net/ (дата обращения: 10.09.2011)
  • Л.И. Миркин. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов (М., Физматлит, 1961)
  • С.С. Горелик. Рентгенографический и электронографический анализ металлов. Справочно-расчетные таблицы и типовые рентгенограммы (М., Гос. науч.-техн. изд-во лит. по черн. и цв. металлургии, 1963).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.