"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Эволюция структурно-морфологических свойств при отжиге многослойной нанопериодической системы SiOx/ZrO2, содержащей нанокластеры кремния
Ершов А.В.1, Павлов Д.А.1, Грачев Д.А.1, Бобров А.И.1, Карабанова И.А.1, Чугров И.А.1, Тетельбаум Д.И.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 12 марта 2013 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2013 г.

Методом просвечивающей электронной микроскопии поперечного среза исследованы структурно-морфологические свойства нанопериодических структур, полученных поочередным испарением в вакууме SiO и ZrO2 с последующим отжигом при температурах 500-1100oC. До 700oC включительно слои были аморфными. При 900 и 1000oC в слоях ZrO2 образовывались нанокристаллы, разделенные двойниковыми границами либо аморфными областями. Формирование нанокристаллов кремния в слоях SiOx происходит после отжигов при 1000 и 1100oC. При 1100oC на местах слоев ZrO2 формируются сферические нанокристаллы типа SixZryOz с диаметрами, превышающими толщину исходных слоев, вследствие реакции между SiOx и ZrO2. Структурная эволюция при отжигах согласуется с рассмотренным ранее поведением оптических и люминесцентных свойств системы.
  1. А.А. Ищенко, Г.В. Фетисов, Л.А. Асланов. Нанокремний: свойства, получение, применение, методы исследования и контроля (М., Физматлит, 2011)
  2. L. Khriachtchev. Silicon nanophotonics, Basic Principles, Present Status and Perspectives (Singapore, World Scientific Publ.Co. Pte. Ltd., 2009)
  3. O. Fursenko, J. Bauer, G. Lupina, P. Dudek, M. Lukosius, Ch. Wenger, P. Zaumseil. Thin Sol. Films, 520, 4532 (2012)
  4. А.В. Ершов, Д.И. Тетельбаум, И.А. Чугров, А.И. Машин, А.Н. Михайлов, А.В. Нежданов, А.А. Ершов, И.А. Карабанова. ФТП, 45 (6), 747 (2011)
  5. H. Choi, M. Chang, M. Jo, S.-J. Jung, H. Hwang. Electrochem. Sol. St. Lett., 11 (6), H154 (2008)
  6. E. Talbot, M. Roussel, C. Genevois, P. Pareige, L. Khomenkova, X. Portier, F. Gourbilleau. J. Appl. Phys., 111 (10), 103 519 (2012)
  7. M. Zacharias, J. Heitmann, R. Scholz, U. Kahler, M. Schmidt, J. Blasing. Appl. Phys. Lett., 80 (4), 661 (2002)
  8. А.В. Ершов, И.А. Чугров, Д.И. Тетельбаум. А.И. Машин, Д.А. Павлов, А.В. Нежданов, А.И. Бобров, Д.А. Грачев. ФТП, 47 (4), 460 (2013)
  9. R.J. Walters, R. van Loon, A. Polman, I. Brunets, G. Piccolo, J. Schmitz. Proc. 5th IEEE Int. Conf. on Group IV Photonics (Sorrento, Italy, 2008) p. 41
  10. L.X. Yi, J. Heitmann, R. Scholz, M. Zacharias. Appl. Phys. Lett., 81 (22), 4248 (2002)
  11. Precision Ion Polishing System: User's Guide (Gatan Inc., 1998)
  12. Gwyddion --- Free SPM (AFM, SNOM/NSOM, STM, MFM,...) data analysis software: [сайт]. URL: http://gwyddion.net/ (дата обращения: 10.09.2011)
  13. Л.И. Миркин. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов (М., Физматлит, 1961)
  14. С.С. Горелик. Рентгенографический и электронографический анализ металлов. Справочно-расчетные таблицы и типовые рентгенограммы (М., Гос. науч.-техн. изд-во лит. по черн. и цв. металлургии, 1963).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.